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ECR放电清洗
ECR放电清洗 余耀伟 高翔 胡建生 单家芳 2008.04.01 提纲 实验目的 清洗参数 实验过程 初步结果 小结 实验目的 垂直场对ECR等离子体的区域控制 脉冲放电的清洗效果 清洗参数 低杂波：2.45 GHz，9 kW，1/5/10/20/30 s 纵场：~190 A（~0.088 T） 垂直场：0、200、600A 气压：He，0.28 Pa（0.05/0.18） 过程－差分质谱 初步结果（1） 清洗效果不明显 初步结果（2） 垂直场的影响 初步结果（3） ECR等离子体（水平窗口） 初步结果（4） ECR等离子体 上窗口 变化不大 小结 清洗效果不明显 垂直场的影响 N2/CO的电离（本底改变） 改变了ECR等离子体的垂直位置 等离子体在水平方向上有微小变化 致谢 感谢低杂波组、极向场成员的大力支持! 感谢纵场及真空组成员的积极配合！ 谢谢！ * * 西冷泵放气 Vertical field：0 200 A 600 A Vertical Field 0 200 A 600 A HFS LFS *
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