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MEMS器件与技术
MEMS
Device＆Technology
基于MEMS技术的微波滤波器研究进展
欧阳炜霞，张永华，王 超，郭兴龙，赖宗声
(华东师范大学微电子电路与系统研究所，上海200241)
摘要：基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属
矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比，MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性
好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结，综述了近几年
MEMS滤波器的研究进展，包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关／电
容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系
统的迫切需要，具有重要的现实意义。
关键词：MEMS技术；硅体微加工；LIGA技术；微波滤波器；可调滤波器
ReviewonMEMSMicrowaveFilters
OuyangWeixia，ZhangYonghua，WangChao，GuoXinglong，LaiZongsheng
(Institute ChinaNormal
ofMicroelectronicsCircuitSystem,EastUnivers咖肌喇200241，China)
basedonMEMS are devicesincurrentRF
Abstract：Filters technologyimportant systems．Compared
withtraditionalmicrowavefilters metallic orsemiconductor
utilizing rectangular／circularwaveguides
filtershave low
components，MEMSadvantagesincludingloss，highisolation，excellentlinearity，small
basedonMEMS areclassifiedandsummarized．The
integration；etc．Filters
size，easy technology
research ofMEMSfiltersoverthe several are siliconbulk
厂 progresses past yearspresented，including
transmissionlinesand tunablefilters．The
micromachining，LIGA MEMS—switches／capacitors—based
oftunablefiltershave interest modem
more as meetthe demandof
developments they urgent
microwave／millimeter-wavecommunication ．
multiband，wide—bandsystems．
Keywords：microelectromechanical bulk
system(MEMs)technology；sili
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