关于光纤-镜面干涉腔的光纤加速度计.pdf

第19卷第6期 光学精密工程 Vol-19No．6 and Precision 2011年6月 optics Engineering Jun．2011 文章编号 1004—924X(20n)06—1179一06 基于光纤一镜面干涉腔的光纤加速度计 林 巧+，陈柳华，李 书，吴兴坤 (浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州310027) 摘要：设计、研制了一种基于光纤一镜面干涉腔的光纤加速度计。介绍了该加速度计的传感原理及弹性结构设计，并对其 性能进行了实验测试。该加速度计用固定于圆网状弹性结构上的硅微反射镜与处理过的光纤端面构成光纤一镜面干涉 腔来产生相位差随外界加速度改变的光干涉信号；采用相位生成载波技术通过对于涉信号的调制和解调实现对相位差 试比较。结果表明，该光纤加速度计的灵敏度为63．2 rad／g，共振频率为160Hz，分辨率为4“g而动态范围接近108，结 果与理论分析符合得较好。该加速度计不仅结构简单，还集成了多维加速度计的优势。 关键词：光纤加速度计；相位生成载波技术；灵敏度；分辨率 中图分类号：TN253文献标识码：A doi：10．3788／0PE1179 Fiber accelerometerbasetIonfibeI。mirrorinterference 0ptic caVity LIN Qiao‘，CHENLiu—hua，LIShu，WU Xing—kun (S纽据K纠L曲or口幻删D／朋ro如惭(功ficnz，椰￡朋m删抛￡如搬，Zh巧缸以gU磁化”i砂，Ha咒弘矗oz‘310027，Chi撇) *Cbr，℃s夕。咒di牡g口“￡^or，jP，行口iZ：Zi咒gino口@y口^oo．c07”．f7z fiberaccelerometerwas basedonafiber—mirrorinterferenceThe Abstract：An optical designed cavity． andelasticstructureoftheaccelerometerwereintroducedandits was sensingprinciple performance siliconmicro—mirror amesh elastic measured．A mountedon spring structureandafiberfacetwere usedtoformafiber-mirrorto interferenceasafunctionofacceleration． cavitygenerateopl；ral signals A wab tomodulate PhaseGenerated theinterferencetoob— Carrier(PGC)technologyadopted signals tain differencewith strain o