单晶炉二次增料技术及装置.pdfVIP

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2017-10-27 发布于湖北
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单晶炉二次增料技术及装置.pdf

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第32卷第2期轻工机械 V01．32No．2 2014年4月 LightIndustryMachinery Apr．2014 [自控·检测] 单晶炉二次增料技术与装置王新海1，张永军1，李俊涛1，宗红梅2 (1．陕西国防工业职业技术学院机械工程学院，陕西西安710300； 2．西安华晶电子技术股份有限公司，陕西西安710077) 摘要：针对单晶炉投料量不足而导致单炉产量低、石英坩埚寿命短等缺点，提出二次增料技术，并设计了单晶炉二次增料装置的机械结构。在设计二次增料装置时，采用了一种“无金属底盖”的设计思路，完成具有拉杆外置、内筒由2个半圆筒组成为特点的结构设计。实践表明：该装置结构新颖实用、可操作性强，可使单晶炉每月单炉的产量提高20％，具有一定的推广价值。关键词：单晶炉；二次增料技术；二次增料装置；单炉产量中图分类号：TB472 文献标志码：B 文章编号：1005-2895(2014)02-0046-04 Device and of Furnace SecondaryCasingTechnology SingleCrystal WANG Xinhail，ZHANGJunta01，ZONG Yongjunl，LI Hongmei2 ofMechanical Instituteof 710300，China； (1．Department Engineering，ShaanxiTechnology，Xi’an 2．Xi’an Electronic Huajing TechnologyCo．，Ltd．，Xi’an710077，China) 7 furnaceS low causeof Abstract：For the crucibleshortlifeandother singlecrystal production by quartz thestructureof furnaceand thenthe wasoutlined．and crystal technology single secondaryeasing secondarycasing was ofthe structure the metalbottomcover”methodwas device，a”no designed．Indesign secondarycasing proposed， andthemechanicalstructurewas withcharacteristicsofa rodexternal andtheinner