国家同步辐射实验室的LIGA技术研究和应用.pdf

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2017-10-26 发布于湖北
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第44卷第11期机械工程学报 V01．44No．11 2008年I1月 Nov． 2008 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING DoI：10．3901删E．2008．11．047 国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用串刘刚田扬超 (中国科学技术大学国家同步辐射实验室合肥230026) 摘要：LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法。介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展。分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难，结合同步辐射光刻的特点，提出LIGA应用的一些展望。关键词：LIGA技术微塑铸微流体器件中图分类号：U461．91 at Researchand ofLIGAProcess Application Nationoi Radiation SynchrotronLaboratory LIU TIAN Gang Yangchao of of Radiation China，Hefei230026) (National Laboratory,UniversityScienceTechnology Synchrotron tO and isamicrofabricationmethodthatCanusevariousmaterials Abstract：LIGA(Lithographiegalvanformungabformug)process obtain ratiomicrostructures．TheofLIGA andthe ofLIGA stationatNSRL aspect principlle techniquesparametersexperimental high as areintroduced．Therecent intheresearchofLIGA atNSRL，such radiation progresses techniques synchrotronlithography,mi— the ofLIGA aSmicro-inerialdevicesandmicro—fluidic techniques，such devices， cro-electroforming，micro-molding，andapplication are indetail．The statusofresearchand ofLIGA andthe encounteredare presented development applicationtechniquesproblems o