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K465I设备控制系统部分 K465I控制系统总结构图 K465I Device Net网络结构图 K465I 模拟数字网络结构图 K465I温度控制系统结构图 K465I温度体系结构图 K465I过热联锁系统 K465I设备程序分析部分 K465I “Dynamic Shutdown”程序举例分析 K465I “Dynamic Shutdown”程序举例分析 K465I “Dynamic Shutdown”程序举例分析 K465I “Dynamic Shutdown”程序举例分析 K465I “Dynamic Shutdown”程序举例分析 K465I 设备控制程序思考 K465I设备维护部分 一、清机1）反应室开腔前抽充，建议反复多抽充几次，减少反应室的NH3残留。2）公司有能力的条件下，更换钨丝支架和陶瓷。3）由于清机动了FF，RT和DRT肯定有一定的位置偏差，所以建议在安装过后，调整及校准RT和DRT。4）清机后进行SlowBake,可将反应室和陶瓷中的水分充分蒸发而又很好的保护陶瓷器件及反应室工艺条件。二、更换过滤器1）更换过滤器前，进行程序Bake，为了开过滤器时减少过滤芯燃烧。若公司采用过滤器多用一备的维护方式时，可不用进行程序Bake。2）在球阀（ 104，105，106 ）连接处，采用较好的O-Ring，接口表面清洁、平行，减少应力，便于检漏通过。 K465I设备故障处理部分 K465I报警故障处理案例分析（一） K465I报警故障处理案例分析（二） K465I报警故障处理案例分析（二） K465I报警故障处理案例分析（二） K465I报警故障处理案例分析（二） K465I报警故障处理思考 合肥彩虹藍光科技有限公司 Hefei IRICO Epilight Technology Co., Ltd. 第四期工程技术人员培训总结报告 第四期工程技术人员培训总结报告 K465I设备过热硬件联锁系统。包括： ① PLC通过监控程序软件，来处理更改电源使能状态，来禁用电源。其优先级最低。 ② PID 控制器硬连线至电源的使能位，如果控制器测量到过热情况，则可取代来自Nexus/PLC的使能输入。PID控制器持续监视两个PV（直接连接到PID控制器的T/C，以及通过Ethernet连接接入的 Pyro）。如果两个PV都显示过热，则PID控制器将通过硬连线的使能位禁用电源。同时，过热状态将通过数字输入传送至PLC，收到信号后PLC将调整电源状态。 ③ 高温计（Pyro）也硬连线至电源使能位。如果高温计测量到过热状态，电源将被禁用。同时，过热状态将通过数字输入传送至PLC，收到信号后PLC将调整电源状态。 1.0 程序开始。 1.1 除了反应室维护程序，终止其他所有程序。 1.2 设定所有的MFC和PC的流量斜率为“1”。1.3 关闭电源。 A）设定温度斜率为“0”（内，中，外） B）设定温度为“0” C）设定加热模式为“电流加热” D）设定电流为“0” E）软件使能禁用电源 1.4 设定阀门状态为Shutdown状态，关闭所有阀除了： A）关闭Diff Seal 阀（只有K475有） B）关闭所有气体进气阀 1.5 设定所有MFC流量为“0”，设定压力值： A）设定PCRT（GSD-88,89,110111）值为0（只有K475有） B）设定Bubble PC值为1000Torr C）设定蝶阀压力为15Torr 1.6 判断宕机是否由危险Alarm造成的： →2.0 不是：保持蝶阀为当前开合角度。 →2.1 是：关闭蝶阀。 2.2 检查Warnings值 →3.0 数值=0 →3.1 数值＞0 →3.0 数值=0 关闭软挂闸 →3.1 数值＞0 开启软挂闸 3.2 设定阀门状态为Shutdown状态，关闭所有阀除了： A）关闭Diff Seal 阀（只有K475有） B）关闭所有气体进气阀 3.3 设定所有MFC流量为“0”，设定压力值： A）设定PCRT（GSD-88,89,110111）值为0（只有K475有） B）设定Bubble PC值为1000Torr C）设定蝶阀压力为15Torr 3.4 延迟5秒。 3.5 设定马达转速为“0”： A）使Spindle Motor使能 B）以 3转/秒 降速。 3.6 将存储配置设定给阀。（配置表：TDSW20102） 3.7 复位所有处于禁止状态的程序为待机状态。 4.0 程序完成。 1.6 危险Alarm： ①CDA Pressure Low 条件：≤70Psig ②PEA Cabinet Ventilation（HW） 条件：＜0.5” WC ③PEA Pr