SCHMID清洗机.ppt

SCHMID 基本操作 开机 开机前检查确保所有紧急制动按钮全部复位，机器上所有窗户均已关闭；将控制柜上面的主电源置于ON位置 ，按下Control On ，然后按住reset键至少2S将错误复位。 转入视频操作系统，进入F8 user界面，输入用户名和密码进行登录 进入machine 目录下，检查各个module的参数设置是否正确，各槽药液是否正常，确保参数正常条件下，然后按F1启动机器。 关机 确保机器内无制绒硅片的情况下，按F2 停止机器，在F8 user下登出（log out），按下控制柜上 control on 下方的红色关闭键，关掉整台设备，将主电源复位至 off 位置 投料 投料要轻拿轻放，使硅片约2/3面积先接触滚轴，然后放手，注意投片过程不要发出明显撞击声音，撞击严重了，即使投料没有碎片，在后序生产过程也会引入碎片。 下料 在没有自动下料盒的条件下，手动下料需要等硅片从计数器走出后再取片。 （具体操作现场演示） 操作界面的熟悉 SCHMID分M01-M09共9个模块。 M01为上料台，M09为下料台。 M03，M05，M07为3个水清洗槽。 M02，M04，M06为3个化学品槽。 M08为烘干区。 点检项目参数的意义 M01 上料台 M02 制绒槽 HF-HNO3 M03 水清洗 M04 碱清洗 NaOH M05 水清洗 M06 酸清洗 HCL-HF M07 水清洗 M08 烘干 设备异常时，状态栏会有报警，黄色字体为一级报警，红色为二级报警。并且对应报警模块边缘显示黄色或者红色。 * * *