半导体器件物理_6孟庆巨.pptx

  1. 1、本文档共40页,可阅读全部内容。
  2. 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
  3. 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载
  4. 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
半导体器件物理_6孟庆巨

第六章 薄膜晶体管(TFT) ;主要内容;TFT的发展历程;TFT的发展历程;;TFT的种类;TFT的常用器件结构;TFT的工作原理;;TFT的I-V描述;p-Si TFT的电特性;2. p-Si TFF器件典型的输出和转移特性曲线;3. p-Si TFF中的Kink 效应;4. Gate-bias Stress Effect (栅偏压应力效应);负栅压应力;5. p-Si TFF C-V特性;6. p-Si TFF的改性技术;p-Si TFT制备工艺流程;2、完整的底栅顶接触型结构;(a);(d);p-Si TFT制备中的关键工艺技术;2002年;2、p-Si 薄膜制备技术;(2)Si 薄膜制备方法比较;; 低压化学气相沉积(LPCVD: Low-Pressure CVD); 等离子增强化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced CVD);(3)a-Si薄膜晶化方法比较;对于不同晶化方法在不同晶化温度和时间下制备TFT的迁移率(数据值).;(4)p-Si TFT制备中的掺杂及杂质激活;与VLSI掺杂技术相比,p-Si掺杂特点:;TFT器件典型性能参数及特点比较;TFT的主要应用;柔性基底上制备的超高频RFCPU芯片;基于有机TFT??全打印7阶环形振荡器电路;全打印技术制备n、p沟TFT;3. 敏感元件,如: 气敏、光敏、PH值测定;思 考 题

文档评论(0)

wyjy + 关注
实名认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

1亿VIP精品文档

相关文档