白光干涉技术在球轴承测量中应用.pdf

第猿愿卷摇 第缘期 激摇 摇 光摇 摇 技摇 摇 术 灾燥造援猿愿袁晕燥援缘 圆园员源年怨月 蕴粤杂耘砸栽耘悦匀晕韵蕴韵郧再 杂藻责贼藻皂遭藻则袁圆园员源 摇 摇 文章编号院 员园园员鄄猿愿园远渊圆园员源冤园缘鄄园远圆猿鄄园源 白光干涉技术在球轴承测量中的应用 员 员 员 员 圆 石摇 炜 袁李俊成 袁韩摇 军 袁王建国 袁王靖禹 渊员援内蒙古科技大学机械工程学院袁包头园员源园员园曰圆援坎特伯雷大学物理科学学院应用光学系袁坎特伯雷冤 摘要院 为了实现球轴承中球体在制造加工中快速准确的测量袁采用白光干涉技术尧图像处理技术和信号处理 技术组建了一整套的基于迈克尔逊干涉仪的测量系统遥 对白光干涉技术进行了理论分析袁对轴承球体进行了光学 球面半径的高精度测量和粗糙度测量袁取得了光洁度图像和曲率半径图像遥 在大量实验论证的基础上经过处理和 计算得到了精确的计算数据袁光洁度分辨率可达到纳米量级袁曲率也可以计算到微米量级遥 结果表明袁利用此技术 可以对球面进行快速精确的测量袁提高了加工质量和检测速度遥 关键词院 激光光学曰全场光学相干层析成像曰相移干涉法曰曲率测量曰粗糙度测量曰鲁棒高斯回归滤波器 中图分类号院 栽匀苑源源曰栽晕圆源苑摇 摇 摇 文献标志码院 粤摇 摇 摇 凿燥蚤院员园郾苑缘员园辕躁早躁泽郾蚤泽泽灶郾员园园员鄄猿愿园远郾圆园员源郾园缘郾园员园 月葬造造遭藻葬则蚤灶早皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼遭葬泽藻凿燥灶憎澡蚤贼藻鄄造蚤早澡贼蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼则赠贼藻糟澡灶蚤择怎藻 员 员 员 员 圆 杂匀陨宰藻蚤 袁蕴陨允怎灶糟澡藻灶早 袁匀粤晕允怎灶 袁宰粤晕郧允蚤葬灶早怎燥 袁宰粤晕郧允蚤灶早赠怎 渊员援杂糟澡燥燥造燥枣酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁陨灶灶藻则酝燥灶早燥造蚤葬哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁月葬燥贼燥怎园员源园员园袁悦澡蚤灶葬曰圆援 阅藻责葬则贼皂藻灶贼燥枣粤责责造蚤藻凿韵责贼蚤糟泽袁杂糟澡燥燥造 燥枣孕澡赠泽蚤糟泽杂糟蚤藻灶糟藻袁悦葬灶贼藻则遭怎则赠哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠袁悦葬灶贼藻则遭怎则赠袁哉灶蚤贼藻凿运蚤灶早凿燥皂冤 粤遭泽贼则葬糟贼院 陨灶燥则凿藻则贼燥葬糟澡蚤藻增藻则葬责蚤凿葬灶凿葬糟糟怎则葬贼藻皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼燥枣泽责澡藻则藻遭藻葬则蚤灶早遭葬造造凿怎则蚤灶早皂葬灶怎枣葬糟贼怎则蚤灶早责则燥糟藻泽泽袁葬 泽藻贼燥枣酝蚤糟澡藻造泽燥灶蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼泽赠泽贼藻皂憎葬泽责则燥责燥泽藻凿遭葬泽藻凿燥灶 憎澡蚤贼藻造蚤早澡贼蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼藻则贼藻糟澡灶燥造燥早赠袁蚤皂葬早藻 责则燥糟藻泽泽蚤灶早贼藻糟澡灶燥造燥早赠葬灶凿泽蚤早灶葬造责则燥糟藻泽泽蚤灶早贼藻糟澡灶燥造燥早赠援 宰澡蚤贼藻造蚤早澡贼蚤灶贼藻则枣藻则燥皂藻贼则赠贼藻糟澡灶蚤择怎藻憎葬泽葬灶葬造赠扎藻凿贼澡藻燥则藻贼蚤糟葬造造赠援 栽澡藻责则藻糟蚤泽蚤燥灶葬灶凿则燥怎早澡灶藻泽泽皂藻葬泽怎则藻皂藻灶贼燥枣贼澡藻燥责贼蚤糟葬造泽责澡藻则蚤糟葬造则葬凿蚤怎泽燥枣泽责澡藻则藻遭葬造造遭藻葬则蚤灶早憎藻则藻皂葬凿藻援 栽澡藻枣蚤灶蚤泽澡 则藻泽燥造怎贼蚤燥灶蚤皂葬早藻葬灶凿贼澡藻糟怎则增葬贼怎则藻则葬凿蚤怎泽蚤皂葬早藻憎藻则藻燥遭贼葬蚤灶藻凿援 栽澡藻葬糟糟怎则葬贼藻糟葬造糟怎造葬贼蚤燥灶凿葬贼葬憎葬泽燥遭贼葬蚤灶藻凿葬枣贼藻则责则燥糟藻泽泽蚤灶早 葬造葬则早藻灶怎皂遭藻则燥枣藻曾责藻则蚤皂藻灶贼葬造凿葬贼葬援 栽澡藻枣蚤灶蚤泽澡则藻泽燥造怎贼蚤燥灶糟葬灶则藻葬糟澡贼澡藻灶皂造藻增藻造葬灶凿贼澡藻糟怎则增葬贼怎则藻糟葬灶遭藻糟葬造糟怎造葬贼藻凿贼燥贼澡藻 滋皂造藻增藻造援 栽澡藻责则燥糟藻泽泽蚤灶早择怎葬造蚤贼赠葬灶凿贼澡藻凿藻贼藻糟贼蚤燥灶泽责藻藻