“唯一真正”高能效混合工艺——苏尔寿HI3 PVD技术开创新一代高性能涂层.pdf

3 2013年第47卷No．5 “唯一真正的高能效混合工艺——苏尔寿 H13 PVD技术开创新一代高性能涂层 SulzersHEPVD Efficient true”Energy HighProductivity Technology．The“only by Process to NextGenerationPerformance Hybrid TechniqueSynthesise High Coatings G．Erkensl，J．Vetterl，J．Mtillerl，黄烈2 1Sulzer GmbH[德]；2苏尔寿美科表面技术(上海)有限公司 Metaplas 这方面的优势则更加明显。新一代电弧蒸发器有着 1 引言 远高于其它PVD技术的沉积速率，通过该方式沉积 为了应对现在及将来的各种切削加工挑战，技 的涂层在先进切削和成型应用领域有着出众的膜基 术与工艺专家们采用各种沉积和表面处理技术，为 结合力和膜层性能。 刀具提供独特和量身定制的涂层解决方案。本文介 溅射0电弧?比软：能源效率Into／kWh] 绍一种能为刀具量身定制涂层方案的全新方法—— 排列 ■_ PVD混合涂层工艺技术。所谓PVD混合涂层工艺 技术，就是将多种不同涂层工艺的膜层形成过程整 I kW 一一P=2‘7 合在一台单一的涂层设备中实现。苏尔寿独特的高 7- 离化溅射技术——HIPAc技术(高离化等离子体辅 F 一 _·■ ^RC 助涂层技术)，是AEGD蚀刻和预离化以及HiPIMS 畦l _ (高能脉冲磁控溅射)技术的先进组合技术。再将 。耳覃胃圈2盯。 HIPAC与APA—Arc(先进的等离子辅助电弧)技术 谴过舞高功丰哑_嘲2十脉冲发隹■蠢羹高谴羹曝． 组合在一起，形成苏尔寿独特的H13(三重高离化) 图1 HiPlMS、直流溅射和电弧技术与能耗相关的沉积速率 混合涂层技术，该技术将引领当今和未来高性能精 图1显示了令人印象深刻的创新电弧技术的突 密工具的涂层发展潮流。 出优势。现代电弧技术的高效率和良好的成本效 2苏尔寿创新的电弧技术引领未来 益，使其在工业化生产中处于主导地位。同样明显