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MEMSMEMSMEMSMEMS @@@@ MITMITMITMIT OverviewOverviewOverviewOverview
Prof. Martin A. Schmidt
FallFall
/mems
1
MEMS @ MIT ‘At a Glance’MEMS @ MIT ‘At a Glance’
• Community
– ~30 Faculty
– ~135 Students and staff
– ~$15M$15M AnnualAnnual SponsorshipSponsorship (Federal(Federal andand Industrial)Industrial)
• Major Thrusts
– Materials, Processes, and Devices for MEMS
– Biological and Chemical MEMS
– Actuators and Power MEMS
– Sensors,, Syystems,, and Modelingg
• Established as an ‘internal’ community in 2000
• Launched industrial membership in 2006
2
MEMS @ MIT FacultyMEMS @ MIT Faculty
• A.I. Akinwande (EECS) • R. Karnik (MechE)
•• GG. BarbastathisBarbastathis (MechE)(MechE) •• SS.GG. KimKim (MechE)(MechE)
• M. Bazant (Math) • J.H. Lang (EECS)
• S. Bhatia (HST/EECS) • C. Livermore (MechE)
• DD. BoningBoning (EECS)(EECS) • SS. ManalisManalis (BioEng/MechE)(BioEng/MechE)
• A. Chandrakasan (EECS) • D.J. Perreault (EECS)
• G. Chen (MechE) • M.A. Schmidt (EECS)
• M. Culppepppper ((MechE)) • A. Slocum ((MechE))
• P. Doyle (ChemE) • C.V. Thompson (MatSci)
• A. Epstein (Aero/Astro) • T. Thorsen (MechE)
• D. Freeman (EECS) • J. Voldman (EECS)
• M. Gray (HST/EECS) • E. Wang (MechE)
• J. Han (BioEng/EECS) • B. Wardle (Aero/Astro)
• K. Jensen (ChemE/MatSci) • J. White (EESC)
• RR. KammKamm (MechE)(MechE) • FF. YanikYanik (EE
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