第五章-1 CdTe太阳电池.ppt

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第五章-1 CdTe太阳电池

第四章 非晶硅太阳电池 第五章 CdTe太阳电池 CuInGaSe2(CuInS2)太阳电池 染料敏化太阳电池(DSSC) 有机太阳电池(OPV) CdS:n型 Po(po一声);Te(di四声);Sb(锑ti一声) MOCVD成长薄膜时,主要将载流气体 (Carrier gas) 通过有机金属反应源的容器时,将反应源的饱和蒸气带至反应腔中与其它反应气体混合,然后在被加热的基板上面发生化学反应促成薄膜的成长。 一般而言,载流气体通常是 氢气 ,但是也有些特殊情况下采用 氮气 (例如:成长 氮化铟镓 (InGaN)薄膜时)。 常用的基板为 砷化镓 (GaAs)、 磷化镓 (GaP)、 磷化铟(InP)、 矽 (Si)、 碳化矽 (SiC)及 蓝宝石 (Sapphire,Al 2 O 3 )等等。 而通常所成长的薄膜材料主要为 三五族化合物半导体 (例如:砷化镓(GaAs)、 砷化镓铝 (AlGaAs)、 磷化铝铟镓 (AlGaInP)、氮化铟镓(InGaN))或是 二六族化合物半导体 ,这些半导体薄膜则是应用在光电元件(例如: 发光二极体 ( LED )、 雷射二极体 (Laser diode)及太阳能电池 )及微电子元件(例如: 异质接面双载子电晶体 ( HBT )及 假晶式高电子迁移率电晶体 ( PHEMT ))的制作。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 画出整个电池的结构图,包含电池间串联的结构 第五章 薄膜太阳电池 CdS:直接带隙,能带2.4eV,吸收系数104-105cm-1,常用作窗口材料 CdTe:直接带隙,能带1.45eV(接近最佳带隙1.5eV),吸收系数105cm-1 Why CdTe or CdS? Superstrate结构:在玻璃等衬底上依次生长透明氧化层(TCO)、CdS、CdTe薄膜,而太阳光是由玻璃衬底上方照射进入,先透过TCO层,再进入CdS/CdTe结。——效率最高 Substrate结构:在适当的衬底上生长CdTe薄膜,再生长CdS和TCO膜。 2×10-4 Ω cm 105cm-1 近空间升华法:生产高效率CdTe薄膜电池的最主要方法 蒸发源被置于一与衬底同面积的容器内,衬底与源材料要尽量靠近放置,使得两者间的温度差尽量小,从而使薄膜的生长接近理想平衡状态。 衬底温度要求:450-600摄氏度间; 沉积速率:~1μm/min。 CdS:n型 Po(po一声);Te(di四声);Sb(锑ti一声) MOCVD成长薄膜时,主要将载流气体 (Carrier gas) 通过有机金属反应源的容器时,将反应源的饱和蒸气带至反应腔中与其它反应气体混合,然后在被加热的基板上面发生化学反应促成薄膜的成长。 一般而言,载流气体通常是 氢气 ,但是也有些特殊情况下采用 氮气 (例如:成长 氮化铟镓 (InGaN)薄膜时)。 常用的基板为 砷化镓 (GaAs)、 磷化镓 (GaP)、 磷化铟(InP)、 矽 (Si)、 碳化矽 (SiC)及 蓝宝石 (Sapphire,Al 2 O 3 )等等。 而通常所成长的薄膜材料主要为 三五族化合物半导体 (例如:砷化镓(GaAs)、 砷化镓铝 (AlGaAs)、 磷化铝铟镓 (AlGaInP)、氮化铟镓(InGaN))或是 二六族化合物半导体 ,这些半导体薄膜则是应用在光电元件(例如: 发光二极体 ( LED )、 雷射二极体 (Laser diode)及太阳能电池 )及微电子元件(例如: 异质接面双载子电晶体 ( HBT )及 假晶式高电子迁移率电晶体 ( PHEMT ))的制作。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁) 之间施加几百K 直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间,便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 画出整个电池的结构图,包含电池间串联的结构

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