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新型红外Gel一工G膜制备、微结构及力学性能研究I:
闫兰琴。 张维佳· 丁照崇 金 飞 张心强 武美伶 王天民
(北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理研究中心,北京100083)
摘 要:本文利用等离子体化学气相沉积的方法(PECVD)在ZnS基底上制备了
组织成分可调(z值可调)的Ge。一。Cx过渡层,其折射率随组分。的不同在2~4
的范围内变化。对薄膜样品进行了X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)、
机、FY-03E型盐雾试验机等分析测试。系统地研究了薄膜与衬底、膜层之间的附
着力以及薄膜的抗腐蚀性能。研究表明在ZnS基底上镀制红外Gel--xcI膜,薄膜与
衬底结合良好。并具有优良的抗腐蚀性能和红外光谱特性。
关键词:Gel--xQ薄膜;微结构,附着力;抗腐蚀性;PECVD。
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An on Novel Gel--xC,Film
StudyPreparation
MicrostructureandMechanical
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PhysicsMaterialPhysics,SchoolScience,Beijing
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AeronauticsAstronautics,Beijing
University
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filmswere PECVD(Plasma
Abstract:Gel--xCx by
prepared
indexvariousfrom2 to4withthedifferent
infraredrefractivewas
por).The
measured
z.The were with photoelectron
sample X—rayDiffraction(XRD),X—ray
infraredband photometer,
spectroscopy,Ramanspectrum,FTP一3000spectral
WS-92 ofadhesionandFY-03E ofsaltand
testing testingapparatus
apparatus
thead
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