FFU系统在某洁净工程黄光区的应用分析于齐东天津城建设学院摘.DOC

FFU系统在某洁净工程黄光区的应用分析 于齐东 天津城市建设学院 摘要：本文通过工程实例，对FFU与循环风机组两种循环风处理方案进行经济性分析。从数据结果表明，虽然FFU系统初投资较高，但其年运费明显低于循环风机组。同时结合本工程黄光区特点，探讨了洁净室在防静电与气密性关键环节施工工艺特殊方法，供相关技术人员参考。 关键词：组合式新风机组干盘管 FFU 环氧树脂pplication of FFU System in the Yellow Areas of a Clean Engineering YU Qi-dong Tianjin Institute of Urban Construction Abstract：In this paper, an engineering exampleair handling units on the FFU and circulation air treatment plan for two cycles of economic analysis, from the data show that although the higher initial investment FFU, but significantly lower than in circulating air freight unit. In addition, combining the engineering photolithography were analyzed, the anti-static clean room key with airtight construction special methods of related technical officers. Keywords: make-up air units, dry coils, fan filter units, epoxy 收稿日期：2010-11-5 作者简介：于齐东（1978~），男，硕士研究生；天津城市建设学院能源与机械工程系（300384）；E-mail: stevenyu78@ 伴随着超导体电子行业近年来在我国的迅猛发展，传统集中式净化送风系统在工程应用中的弊端也越来越明显，研究探讨有效合理的净化送风方式便成为了暖通工程领域设计人员所面临的最大课题。FFU系统作为一种新型的净化送风方式，其在技术与经济上具有传统集中式系统难以匹敌的优势，因此现在被广泛用于电子类净化工程。但随着此系统在国内推广使用，也出现了一些需要解决的技术难题，为此本文结合天津市某超导净化厂房ISO5级黄光区FFU系统应用实例，通过与传统循环机组方案进行经济性分析与技术难点探讨，为相关技术人员提供参考。 FFU系统工作原理室外新风状态点W经组合式新风处理机组（MAU）减焓去湿并三级过滤净化后处理到洁净室内空气机器露点L，为了避免由于新风引起洁净室温度场波动，还需对处理后的新风进行再热，使其达到室内空气状态点N后送入静压箱，在静压箱内与经过干盘管冷却后的室内回风P混合后O，由FFU加压过滤后送入洁净区域[1]。空气处理流程如图1所示，空气处理过程hd图如图2所示。 图1 空气处理过程流程图 图2 空气处理过程h-d图 FFU在黄光区应用分析 本文以天津市某净化厂房IOS5级黄光区为工程实例，对FFU与循环风机组两种循环风处理方案进行经济性分析 2.1 黄光区工程概况与设计参数 黄光区是此洁净厂房核心部件加工区域，空调面积42，建筑层高3.7m，区内负荷46.95k，黄光区技术设计参数如表1所示[2]黄光区技术设计参数 温度（℃） 相对湿度（%） 洁净度（0.3μm） 室内正压（a） 23±0.5 45±3 ISO5级 20 .2 黄光区两种循环风处理方案 FFU设计方案采用5台干盘管对室内循环风进行去显热处理，每干盘管进水温度t1=15℃，出水温度t2=20℃，每台干盘管循环水量W=0.52/s，总共冷量Q0=53.6 k（考虑FFU风机附加散热量）；采用46台CLZ-1型FFU作为区域末端净化送风装置，单台FFU送风量L=1500 m3/h，功率pe=0.25 k，系统总送风量G’=53600 m3/h，总耗功率P=11.5 k （2）循环风机组设计方案选带风机，热湿处理盘管及空气过滤器的循环风机组1台，机组中选用高效混流送风机1台，送风量G1=55569 m3/h，型号Y180M-4B5，全压p1=687a，功率P1=18.5k，选高效混流回风机1台，回风量G2=53969 m3/h，型号Y180M-6-B5，全压p2=444a，功率P2=15 k 2.3 两种方案初投资对比与分析 两种方案初投资对比由可以看出，虽然FFU设备费用较高，但系统省去了大量