傅里叶红外光谱仪分束器自动装调系统设计.PDF

第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 年 月 傅里叶红外光谱仪分束器自动装调系统设计 丁 凡 曾立波 吴琼水 武汉大学电子信息学院 湖北 武汉 摘 要 为了提高傅里叶红外光谱仪干涉系统的精度 设计了一种基于一体化分束器的自动装调系统 使 用光学胶水将棱镜与分束器固定在一起组成一体化分束器 在一体化分束器上设置三点调整机构 点位 置进行固定作为参考点 在 点 点位置装入压电陶瓷 利用压电陶瓷驱动分束器进行微小位移的调整 在动镜匀速运动的情况下 利用四象限检测器检测三路携带相位差信息的信号 对信号进行放大滤波和数 字化处理后 采用 的模块捕捉三路相位差信号 并利用增量式 算法根据相位差来对三个点 位的调整幅度进行实时控制 使用 的 模块采集三路信号 并利用 与上位机进行通信 在上 位机上实时显示三路信号图形及相位差信息 利用光学胶水的紫外固化特性 在支架上安装紫外照射灯 调 整过程中不断增加照射强度使光学胶水进行深度固化 从而制作出符合傅里叶变换红外光谱仪应用需求的 一体化分束器 实验结果表明 所设计的基于一体化分束器的自动装调系统具有结构简单 调整精度高等优 点 其能够满足常规红外分束器装调需求