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像差在临界角方法探焦技术中的影响-光学精密工程
61 Vol. 6, No. 1
19982 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING February , 1998
侯 澍
( 中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 13 22)
11 - 2m
1
, , ,
11 - 2m ,
, ,
, , 1B
,
,
,
, ,
, ,
B A
C ,
,
,
, Fig . 1Principle of critical angle of total
, reflection
1, ,
: 1997- 7- 9
1 : 123
, , ; , ,
, ,
, ,
2
, ,
,
, ,
, ,
, ,
, : ,
. 65, . 2m , :
1 1 1
- = ( 1)
l l f
: 6. 5mm, f 1 mm, f = + . 2m, 2:
l = f + 2f = 1 . 4( mm)
1 1 1
= -
l 1 1 . 4
l 25 1( mm)
,
3. 25
tg= 25 1 . 129
. 7448 2. 68
1. 5168, 4 1. 25 ,
,
, Fig . 2Calculation of l
:
n2 cosi - n1cost
RP = n2cosi + n1cosi ( 2)
124 6
, n2 , n1
, i , t
,
. 7448 i
41. 24519 - . 7448 4 1. 24445
n1sin1 = n2sin2 t = 89. 68793 ,
( 2) RP . 97826
1. 978
, ,
1 . 936;
, ,
, ,
, ,
,
, ,
, , Fig. 3T he influence of aberration
, 33
, , ,
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