- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
7 5 Vo l . 7 , N o. 5
1999 10 OP T ICS A N D P RECISION EN GINEERIN G O ctober , 1999
1004-924X 1999) 05-0063-04
*
梁静秋 姚劲松
中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 130022)
,
,
, ,
,
, 50m
T N 305 . 7 A
1
M EM S)
: IC Si ; X
L IGA LIGA
,
, ) ,
, , ,
,
,
,
10, 500m
,
* B
: 1999- 07- 15
: 1999- 07- 25
7
64
,
:
1, D UV
2L IGA
3, ,
2
,
2. 1
1 ,
- 866 193 ) 248 )
PM A rF nm KrF nm
, 10ns , 050Hz, 28. 040. 0kV ,
1J
2. 2
,
,
CaF2 Cu ;
3
Fig . 1Simplif ied ex perim ent device
,
, ,
, , ,
, ; ,
, ; , ,
,
5 :
65
, ,
, , ,
, , , A P D A blat ive Phot odecomposit ion)
PM MA )
, 2 3 P MM A
, ,
PM M A
Fig . 2 T he ther mal eff ect component of PM M A in Fig. 3T he t her mal eff ect compo nent of polyim ide in
A PD etching A PD etching
1
PM M A
,
4
SEM
50m
,
. 4
,
您可能关注的文档
- 关于结构非概率可靠性模型的安全评价*.PDF
- 关于继续举办基于REVIT软件的BIM信息技术应用-钢结构.DOC
- 关于表彰2014年全国建筑装饰行业科技示范工程奖-中装新网-中国.DOC
- 关于表彰南华大学2012年校级教学成果奖获奖项目的通知校属各部门.DOC
- 关于进一步规范做好湖南经营高危险性体育项目管理-湖南体育局.DOC
- 关于阳江直属粮库第四期工程建设项目环境影响评价-阳江环境保护局.PDF
- 关於收购世界级铜钴矿间接权益的关连及主要交易.PDF
- 关注锂电材料公司安达科技-新三板.PDF
- 关系型到文档型的跨越-SequoiaDB.PDF
- 关於资讯安全价值目标的描述何者为非.PPT
- 2025年重庆电讯职业学院单招(语文)测试题库必威体育精装版.docx
- 2025年海南健康管理职业技术学院单招(语文)测试题库附答案.docx
- 2025年开封职业学院单招(语文)测试模拟题库附答案.docx
- 2025年云南省思茅市单招语文测试题库附答案.docx
- 2025年西安高新科技职业学院单招(语文)测试题库附答案.docx
- 2025年河南省焦作市单招语文测试题库必威体育精装版.docx
- 2025年青海省玉树藏族自治州单招(语文)测试题库必威体育精装版.docx
- 2025年广东环境保护工程职业学院单招(语文)测试题库附答案.docx
- 2025年福建省龙岩单招(语文)测试题库附答案.docx
- 2025年无锡商业职业技术学院单招(语文)测试模拟题库必威体育精装版.docx
文档评论(0)