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准分子雷射加工Excimerlaserablation-iBrarian
工程光學
準分子雷射加工
Excimer laser ablation
0
工程光學
Introduction to a Laser
•Definition
- Light Amplified Stimulated Emission of Radiation.
- A device which generates or amplifies light.
- Formal name for laser physics: quantum electronics.
•Properties of Laser Beams
- Monochromatic: single wavelength.
- Directional: low divergence.
- Intense: high power density.
- Coherent: same phase relationship.
Source: A. E. Siegman, “Lasers”, University Science Books, Mill Valley, California, Chapter 1 (1986) 1
1
工程光學
History of the Laser
stimulated emission: idea in 1916 (A. Einstein)
maser (microwave amplification by the stimulated emission of radiation) : in 1953 (C. H. Townes)
ruby: in 1960 (T. H. Maiman)
He-Ne: in 1961 (A. Javan, W. R. Bennett, Jr., D. R. Herriott)
Nd glass: in 1961 (L. F. Johnson, K. Nassau)
GaAs: in 1962 (GE, IBM, MIT)
Nd: YAG: in 1964 (J. E. Geusic, H. M. Marcos, L. G. Van Uitert)
+
Ar : in 1964 (W. B. Bridges)
CO : in 1964 (C. Kumar, N. Patel)
2
chemical (HCl): in 1965 (J. V. V. Kaspar, G. C. Pimentel)
dye: in 1966 (P. P. Sorokin, J. R. Lankard)
copper vapor: in 1966 (W. T. Walter et al.)
excimer: in 1976 (Naval Research Laboratory)
2
Source: J. Hecht, “The Laser Guidebook”, 2nd Edition, McGraw-Hill, Inc., California, Chapter 2 (1992)
工程光學
Absorption and Emission
absorption
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