单频激光干涉仪正交信号的高精度处理-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 椆 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶椆 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 椆 暋 暋 暋暋斢斿棶棽棸棻椃 旔 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棸椆灢棽棾棸椆灢棸椄 单频激光干涉仪正交信号的高精度处理 灣 棳 棳 夏豪杰 胡梦雯 张 欣 暋 棬 棳 棭 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥 棽棾棸棸棸椆 椇 棳 摘要 为了提高单频激光干涉仪正交信号相位细分辨向的可靠性与重复性 本文在正交信号 斎斿斾斿旐斸旑旑误差模型和数 旟 棳 暎 字信号处理技术的基础上 提出一种结合误差修正和相位细分辨向技术的正交信号高精度误差补偿算法 该算法采用 棳 棳 基于最小二乘法的矩阵运算计算正交误差补偿参数初值 通过迭代运算进一步提高补偿精度 并对修正后的信号构建了 暎 暎 棳 基于相位的细分辨向算法 最后通过 斖斄斣斕斄斅软件对该算法进行了验证 实验结果表明 上述算法可实现对正交信 棳 棳 暎 号误差的精确补偿 使测量精度可达亚纳米甚至皮米数量级 从而有效提高测量信号的解调精度 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 单频激光干涉仪 正交信号 误差补偿 细分辨向 测量精度 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斎椃棻棻斣斘棽棿椆暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椃棽椀棸椆棶棽棾棸椆 斎旈旇 旘斿斻旈旙旈旓旑 旘旓斻斿旙旙旈旑 旓旀旛斸斾旘斸旚旛旘斿旙旈旑斸旍旙 旂 旔 旔 旂 旕 旂 旀旓旘旇旓旐旓斾旑斿旈旑旚斿旘旀斿旘旓旐斿旚斿旘 旟 灣 斬斏斄斎斸旓灢旈斿 棳 棳 旉 斎斦斖斿旑灢旝斿旑 斱斎斄斘斍斬旈旑 旂 棬