外差干涉仪混频误差分析.PDF

第 32 卷 　第 6 期 中　 国 　激 　光 Vol . 32 , No . 6 　 2005 年 6 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S J une , 2005 　 　　文章编号 :(2005) 外差干涉仪混频误差分析 宁志高 , 程兆谷 , 高海军 ( 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海 20 1800) 摘要 　共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装 、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 。着 重分析了在共光路外差干涉仪中由激光光源的椭圆偏振化和沃拉斯顿棱镜的安装方位角误差同时存在的情况下 , 引起的频率混叠综合误差的大小及变化规律 。结果发现其造成的非线性误差可达 2 . 2 nm , 同时还发现两者造成的 误差在某些情况下存在一定程度的相互抵消作用 。讨论了提高测量系统精度的有效措施 , 对正确设计和调试激光 外差测试系统 、提高测量系统精度具有重要意义 。 关键词 　仪器 ; 频率混叠 ; 非线性误差 ; 外差干涉 ;误差分析 中图分类号 　T H744 . 3 　　　文献标识码 　A Error Analysis of Frequency Mixing f or Heterodyne Interf erometer N IN G Zhigao , C H EN G Zhaogu , GA O Haij un ( ) S hang hai I ns t i t ute of Op tics an d F i ne M echanics , The Chi nese A ca demy of S ciences , S hang hai 20 1800 , Chi na Abstract 　Nonlinear error s cau sed by mi sin st allation of commonp at h het erodyne int erferomet er affect ed t he mea surement p reci sion of t he sy st em . Frequency mixing error s cau sed by t he two factor s exi sting at same time , which are ellip tic polarization of laser source and in st allation azimut hal error of Wollaston p ri sm , were analyzed esp ecially in common p at h het ero dyne int erferomet er . It wa s found t hat t he nonlinear error i s up to 2 . 2 nm and t he error cau sed by t he two factor s may be count eract ed each ot her a cert ain ext ent on some condition . The magnit ude of error and t he way of changing were given , which are of great import ance in imp roving t he mea surement accuracy in com