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《微机械与微细加工技术》,苑伟政,马炳和,高清版.pdf

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    《微机械与微细加工技术》微机械是80年代末出现的一门崭新的学科，被誉为21世纪最具代表性的技术之一。本书共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果。《微机械与微细加工技术》内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构，微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。

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