無塵室管理要點.doc

無塵室之管理 一般注意事項 普通注意事項 為保持無塵室的清淨度，必須經常維持正常的氣流狀態 。因此，負責無塵室操作 之專門人員必須經常檢查並防止會擾亂氣流之一切備品、物品等被帶進無塵室內。 但作業上必須之物品或設備盡量維持最少限度，並盡量配置在不會擾亂氣流之位置 為原則。 傢俱等設備用之材料 無塵室內使用之設備材料，盡量使用不會產生塵粒之不鏽鋼或有適當之表面處理；耐磨性佳之鋼品、鋁製品及優良塑膠製品等。 構造 上述設備等之構造，盡量採用構造簡單且與其他物品接觸或磨擦時不會產生磨耗粉質，在各角部份要圓滑，避免有突出之角。 傢俱等設備之維修 　 必須在無塵室內用之傢俱等設備必須保持乾淨，有必要補修時立即修理，經常保持良好狀態，修理困難者立即廢棄不用而換新。 桌子 　　不得不用木製者，表面須施EPOXY樹脂加工以防止發塵。要用簡單的桌子不能有抽屜、腳板，及側面板等。桌腳下端應套上橡膠或塑膠套。 椅子 　　盡量採用沒有背及腳踏板之椅子，椅腳之高度以坐下來腳適當地接觸到地板為原則，萬一非用高椅子不可時要準備腳踏台。椅腳下端應裝有塑膠製之小輪子或應套上橡膠套。為避免產生塵料盡量不使用椅墊(CUSHION)為原則，萬一不得不用椅墊時要用發塵性少之材料完全封蓋，因為椅墊容易損傷而在損傷之狀態下使用易產塵粒，故須特別注意。 搬運箱 　　有關原料、半製品或產生之搬運箱及作業上須要之工具箱均須用特製之專用箱，須附蓋，下面裝有橡膠或塑膠者。容易清潔之構造，並須定期檢查及清潔。 搬運車 　　構造簡單為原則，不要使用可摺疊式。放置物品之表面材料特別採用耐磨性高者。車輪之軸承必須用充填黃油密封式滾珠軸承，並用耐磨性高之橡膠輪胎。重量輕並容易清潔之構造。須做定期檢查，維修及清潔。 筆記用品 紙類 要用特別加工，發塵量少（或全無）之紙類。 如需要帶進以一般紙類印刷之文件時需要放在透明之塑膠袋中。或有防塵處理之紙 類印刷者。鉛筆、橡皮擦、自來水筆、蠟筆、普通紙類均不能帶進無塵室內。筆記 時要用塑膠做的原子筆，無塵紙或塑膠紙類。 告示板、黑板類 　　普通黑板及粉筆當然不能使用，必要時在準清淨室內（低一級之清淨室）用白板，FELTPEN，清淨室專用之擦布。告示板要用自立式，並附有輪子可移動式者，並放置在準清淨室。告示板之構造為不易聚積灰塵或其他污染物並容易清潔者。告示用之紙當然要用如上項規定之專用紙並告示愈少愈佳。 垃圾箱 　　垃圾箱不能放置在比清淨度CLASS 5清潔之無塵室內。 無塵室內之製造及有關設備 製造及有關設備之選定 要選用發塵性少之設備，尤其須注意活動部份之發塵，由於製造、處理而產生之粒子及使用材料。 製造及有有關設備之構造 容易聚積灰塵粒子或會散發塵粒之構造，盡量避免之。 生產用之水、瓦斯、藥品等乃為污染之原因，故應配備過濾裝置。 製造及有關設備之配置及裝設 當計劃如何配置各種設備時應事先考慮不易聚積塵粒或污染物質之配置方法，並容易 清潔為原則。 如真空泵等易產生污染物質之設備，應裝設在無塵室外，但必須裝設在無塵室內時應有適當的覆蓋並做局部排氣。 當配置瓦斯管、給水管、電氣配管等能源供給設備時，其構造須考慮到容易清掃，不易聚積污染物為要。或考慮其他方法如設管道間或暗溝等。 與製造設備連接之地方也須要慎密考慮。如作業檯之配線等可利用中空之腳柱，配線 在其中，盡量避免露出在外面而使配管複雜，最好內藏於有平坦之表面之包圍內。 製造及有關設備使用上應注意事項 1.製造及有關設備，有時免聚積塵粒，故要做定期之清潔。 磨耗之機件，皮帶等會產生塵粒，故要定期更換。 室內之溫濕度控制，尤其對濕度之控制要特別注意；因空調設備如運轉、停機頻繁時 4.設備本身會結露而生銹，因此產生塵粒，故須特別小心。 製造及有關設備之維護 當維修有關設備其產生之塵粒會影響產品，故盡量搬到無塵室外修理。 對於修理業者有必要讓他們熟知，並遵守3.3項（進出無塵室人員及在室內應注意事）。 如能在靠近無塵室設立一間維護專用之工作房仍為無塵室管理上最理想的規劃。 在無塵室內使用之工具原則上要做為無塵室內專用者，除特別理由之外不可帶出無塵 室外。 無塵室運轉設施 　　無塵室用之裝置、設備、配件等均能維持良好之無塵室清淨者乃最重要之條件。 過濾網（FILTER） 1.預慮網或稱初級過慮網（PRE-FILTER） （1）目的 預慮是為延長ULPA(ULTRA LOW PENETRATION AIR)及HEPA(HIGH- EFFICIENCY PARTICULATE AIR)過慮網之使用壽命為目的。以過濾外氣中之粗 塵粒及室內產生之較大塵粒為使命。 （2）選用 　　 隨使用環境及使用目的裝設中性能或高性能之過慮網組合1段或2