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真空技术专栏讲座 第一讲：真空科学的发展及应用 1、真空的含义及特点 2、真空科学的应用领域 3、真空科学发展前景展望 第二讲：真空物理基础 第三讲：机械真空泵 一、机械真空泵的分类及主要性能参量 二、往复式真空泵 三、水环式真空泵 四、油封式旋转机械真空泵 五、罗茨真空泵 六、分子真空泵 七、无油干式机械真空泵 第四讲：蒸汽流真空泵 一、水蒸汽喷射泵 二、油扩散泵 三、油增压泵(油扩散喷射泵) 第五讲：气体捕集式真空泵 一、引 言 二、分子筛吸附泵 三、钛升华泵 四、溅射离子泵 五、低温泵 第六讲：真空测量 一、概述 二、全压力测量 三、分压力测量 四、真空计校准 第七讲：真空检漏 一、概述 二、检漏仪器 三、检漏技术 四、标准漏孔 第八讲：真空系统设计 一、真空系统的组成 二、真空技术基本方程 三、气体流动状态的判别 四、流导的计算 五、抽气时间的计算 六、真空系统的设计 第九讲：真空系统组成元件 一、真空阀门(1.概述) 一、真空阀门(2.几种典型结构) 一、真空阀门(3.真空阀门的设计) 二、捕集器(1.挡油帽) 二、捕集器(2.机械捕集器) 二、捕集器(3.冷凝捕集器) 二、捕集器(4.吸附捕集器) 二、捕集器(5.其它捕集器) 二、捕集器(6.捕集器的流导) 第十讲：真空密封 一.概述 二.永久密封连接 三.可拆密封连接 四.动密封连接 第十一讲:真空材料--1.真空材料的种类 2.真空材料的性能与选材基本原则 3.金属材料 4. 塑料 5.碳(石墨)及碳纤维制品 6.其它真空材料 第十二讲:真空工艺 1 真空材料的清洗 2 真空材料的除气 第十三讲：真空系统的检测技术 第三讲：机械真空泵 [简介]: 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。 一、机械真空泵的分类及主要性能参量 一、机械真空泵的分类及主要性能参量 ????(一)机械真空泵的分类 ????真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。 ????由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。 ????凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下： ????1．变容真空泵 ????它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。 ????(1)往复式真空泵 ????利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵。 ????(2)旋转式真空泵 ????利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。它大致有如下几种分类： ????1)油封式真空泵? 它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。 ????2)液环真空泵? 将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环式真空泵或油环式真空泵。 ????3)干式真空泵? 它是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。 ????4)罗茨真空泵泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。 ????2．动量传输泵 ????它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。这类泵可分为以下几种形式： ????(1)分子真空泵 ????它是利用