【精选】0Cr18Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀2012.pdf

第20卷第1期 光学精密工程 V01．20No．1 andPrecision 2012年1月 0ptics Engineering Jan．2012 文章编号 1004—924X(2012)O卜0045·07 0Crl 8Ni9不锈钢箔的飞秒激光烧蚀 徐 斌1，伍晓宇¨，罗 烽1，杜晨林2，孙秀泉2 (1．深圳大学机电与控制工程学院深圳市模具先进制造技术重点实验室，广东深圳518060； 2．深圳大学电子科学与技术学院深圳市激光工程重点实验室，广东深圳518060) 摘要：利用飞秒激光对厚度为20肛m的OCrl8Ni9不锈钢箔进行了表面烧蚀、微细切割等试验，并研究了不锈钢箔的烧蚀 特性。首先．根据烧蚀区域的直径和脉冲能量的关系，得到了OCrl8Ni9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阈值，并估算了飞秒激光 的束腰半径。然后，对飞秒激光切割不锈钢箔的边缘进行金相观察并测试了切割试件的电阻率，以确定飞秒激光切割对 不锈钢箔的热影响。最后。对切割试件进行X射线衍射分析(XRD)，以确定飞秒激光切割对不锈钢箔物相组成的影响。 实验结果表明：飞秒激光的束腰半径为lo．416pml厚度为20肛m的oCrl8Ni9不锈钢箔的单脉冲烧蚀阚值为 0．455 J／cm2；飞秒激光切割后试件的金相组织处于回复阶段，因此金相组织不会产生明显变化；飞秒激光切割后不锈钢 箔的物相组成没有变化，但物相的相对含量发生了改变。 关 键 词：飞秒激光I激光烧蚀；激光切割；不锈钢箔IX射线衍射分析 中圈分类号：TGl56．99；TG485文献标识码：A doi：10．3788／0PE0045 AbIationofOCrl8Ni9stainlesssteelfilmsfemtosecondlaser by XU Binl，WU Chen—lin2，SUN Xiao—yul．，LUOFen91，DU Xiu—quan2 (1．S^P，12|118以KPyL口6D，诅￡DryD，Ad抛nfPdMa，l“如f￡“ri咒g Co，lfroZ 18060，C冼in口； D厂MPc，ln￡ro挖ics口挖dEnginPPri挖g，S^已咒z^P咒Lhi口Prsity，S^Pn2^已咒5 2． SfiPncPnnd S^P规z^P竹K已yL口60r口￡o，≯o，L口sPrE咒gi挖P￡ri孢g，I：’oZZPgPo，EZPc￡，’o以if 518060，C冼i行口) T■f^noZDgy，SJIle，12^PnUhit，Prsi￡y，S^P砣z^Pn *(为r，．gs夕。以ding口t‘￡，lDr，正’-，雅口iZ：tu“zy@5zM．ed“．f，l OCrl8Ni9stainless withthicknessof wasablatedandcutinamicro— Abstract：The steelf订m a 20“m ablationthresholdofOCrl8Ni9stainlesssteelfilmandthebeamwaistradius machining．Firstly，the