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* * 無塵室維護與管理 無塵室的定義 無塵室『Clean Room』，亦名潔淨室或清靜室，主要定 義將一空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌 等污染物排除，並把室內溫濕度、潔淨度、壓力、噪音振 動、照明、氣流速度與氣流分佈、靜電控制都在某一需求 範圍內，所給予特別設計之房間。 無塵室標準規格 無塵室依等級不同而定義: 潔淨度1級(Class1)每 立方英呎室內之空氣中所含有大於或等於0.5μm之 灰塵粒子不超過1顆，10級不超過10顆，100級不超 過100顆‥‥依此類推，可用一簡式表示即 Class10≦10顆0.5μm particle Class100≦100顆0.5μm particle Class10000 ≦ 10000顆0.5μm particle Class100000 ≦ 100000顆0.5μmparticle ‥ 無塵室環境測試 1.微塵粒子測量 2.溫、溼度記錄 3.室內壓力管理 4.靜電防治 測量位置(Location) 001~006:CLASS100級區域劃分六個位置 007:COG自動製程 008:COG手動製程 009:TAB站製程 010:ACF-FPC製程 011:物料室 012:AGING站製程 013:LOT3站 014:FQC站 015:LOT2 016:RTVUV製程 017:ASSEMBLY 018~021:組裝製程 微粒子計數器(PARTICLE COUNTER) PARTICLE COUNTER原理 功能介紹(PRINTER) 執行列印 狀態 更換記錄紙 清除記憶 容量 列印全部 資料 功能介紹( DISPLAY/PROGRAM) 選擇 按鍵 更改鍵 確認鍵 微粒子 size 位置設定 測量次數 設定 日期/時間設定 其它參數設定 功能介紹( MODES) 切換鍵 手動狀態 自動狀態 濃度模組狀態 測量HEPA狀態 累積值 個別值 其它設備介紹 記錄 紙 取樣管 過濾器 溫濕度記錄器 感應器 sensor 溫/濕度顯 示面板 記錄紙 濕度感 測筆 溫度感 測筆 控制 開關 紙速與時間 6months 3months 1.5months 20days 記錄時間 2.5mm/h 5mm/h 10mm/h 20mm/h 紙速 紙速與記錄時間對應關係如下表: 掌上型溫濕度計 室內壓力管理 壓力管理目的: 為使無塵室內環境維持在潔淨的狀態並且將無塵室內之壓力維持固定的正壓值 ，以加速室內的微塵及空氣能夠快速的被排出，所以需裝設壓差計以監控無塵室內是否處於正壓值。 壓力比較計(PRESSURE GAUGE) 指針型壓差計 墨水型壓差計 靜電防治 靜電放電之影響 靜電放電(Electrostatic Discharge, ESD)是造成大多數的電子元件或電子系統受到過度電性應力(Electrical Overstress , EOS)破壞的主要因素。 而靜電放電破壞的產生，多是由於人為因素所形成，但又很難避免；電子元件或系統在製造、生產、組裝、測試、存放、搬運等的過程中，靜電會累積在人體、儀器、儲放設備等之中，甚至在電子元件本身也會累積靜電，而人們在不知情的情況下，使這些物體相互接觸，因而形了一放電路徑，使得電子元件或系統遭到靜電放電的肆虐。 靜電發生原因(一) 靜電的產生，最容易者莫過於摩擦生電，其所產生的電荷稱為〝摩擦電荷〞，摩擦作用實際上也是由兩物體之接觸與分離所造成，而分離時所產生之電荷，更大於接觸時，此由於分離時之電容遽然減少，而導致電壓之突然增高。 靜電發生原因(二) 材料的分離速度、摩擦力、空氣濕度的高低和材料種類都能響因摩擦而產生的靜電量。事實上，摩擦生電的現象在適當的情況，任何物質與其他物質摩擦後都會帶有電荷，而這種現象均足以使電子工業造成相當地損害。 靜電防護方法介紹 靜電手環及桌墊 導電地板 大地接地 離子風扇 桌墊接地線 靜電防護項目 1.作業人員接地 2.機器設備接地 3.導電地磚接地 4.使用靜電消除器 5.使用抗靜電之包裝材料 6.靜電測試記錄 7.加強作業人員訓練 作業人員接地