制程真空系统简介.ppt

* 　１．抽气量（抽气速率） 　　在设计规划厂务制程真空系统时，首先要知道系统之抽气量，原则上抽气量需依制程设备之公用系统需求统计表（Utility Matrix）之统计资料得来，但由于制程设备之规格确认需考量整体制程产量、制程条件、生产线布置（Layout）等因素综合考量，故在规划或设计厂务制程真空系统之初时可能无法得到正确统计量，故可依下列资料数字概算抽气量之值： Qs=L×A 注：1.上述面积是以生产区全部面积计算（含生产区走道部分） 　　2．彩色滤光片厂约1.4LPM/m2 L：每m2之流量（LPM/m2） 半导厂 2~3 光电厂 1.5~3 * 　　一般在决定抽气量时，因管路实际配置上之压损，如大小头、弯头等会产生压损，故在决定抽气量时，如为依据公用系统要求统计表时应再加上安全系数10~20%之流量考虑。另需注意抽气量之基准是以何种状态表示，依前介绍得知，一般我们表示空气流量所使用之基准有标准状态）及基准状态，故需注意所使用之基准要与泵浦型录上抽气量之基准相同，否则会有甚大误差，而基准状态与标准状态之换算公式如下： Qs：标准空气量 SLPM Ts：标准状态温度（20℃） Qn：基准空气量 NLPM Tn：基准状态温度（0℃） * 例：在基准状态下之流量为1.2LPM，则于20℃、360Torr（-400mmHg.G）之流量为多少？ 　　Ans：From波查定律 * ２．真空度： 　　厂务制程真空系统使用点之真空度一般在700~600mmHg.G左右 　　真空泵浦之选定方式： 　　１）决定真空泵之抽气量： 　　　　泵浦之抽气量Qp=Q×安全系数×同时使用率 　　　　同时使用率：0.7~1，依产业特性而定，故需与使用者或业主研讨确认安全系数：10~20% * 　　一般言之厂商真空泵浦型录上抽气量之基准多为20℃ 1atm（即STP状态）下之风量，若无法确认真空泵浦型录上抽气量之基准为何，必须特别与供应商再确认。 　　另若采用水封式真空泵浦则其性能会依补给水温度不同而产生变化，故补给水温在15℃以上时，以下述公式修正抽气量： K：空气减低系数 Qs15℃：补给水温15℃时之真空泵浦抽气量 Ps：真空度（绝对压力） Pv：计划补给水温的水蒸气压 Pv15℃：水温15℃时水的蒸气压 * 　３．真空桶槽容量之选定： 　　为使系统能提供一稳定之真空度及防止吸入异物，故于真空泵浦入口前需设一真空Buffer Tank，其桶槽体积计算如下： 　　V=Qs×t 　　V：真空桶溶剂（M3） 　　Qs：真空泵浦抽气速率（可由真空泵浦之性能曲线上求得） 　　T：设定时间（min），包括马达启动时间、泵浦抽气速率……等因素考量，通常选用12sec作为设计依据 　　例：设Qs=1200CMH，则应选择多大之真空桶槽？ Ans：Qs=1200CMH=20CMM→V=20×12/60=4 M3 　 * 　４．配管： 　　１）材质：配管材质可选用镀锌钢管或PVC厚管，一般均采用PVC SCH80管。　 　　２）管径：管径大小以风速小于15m/s决定之，且管径最小不小于φ15A。 　　３）配管的容许压力损失（△TP）： 　　通常一般容许之压力损失为指定压力之5%，但是有的时候允许之上限可提高10%，所以容许之压力降为多少应视情况而定，例如： 　　a）运转成本之考量 　　b）初期投资金额之考量 　　c）泵浦是否能提供额外压力去克服压降 * ４）流量：V=Q ×α 　　　V：流量 　　　Q：抽气量 　　　α：同时使用率，视产业特性而定，故需与使用者讨论决定之（以彩色滤光片厂而言，其 　　　　　同时使用率为100%），一般情况下α之建议值如下： 　　　主管：90~100% 　　　副主管：90~100% 　　　支管：100% 　 * 　５）配管尺寸选择： 　依上述内容决定个点之流量及各Main、Submain及支管流量后，视使用点真空度之要求， 　由配管尺寸选定线图（1）~（4）或配管尺寸选定表来选定管路尺寸。 　　　配管之最小管径不得小于15A。 * ４）流量：V=Q ×α 　　　V：流量 　　　Q：抽气量 　　　α：同时使用率，视产业特性而定，故需与使用者讨论决定之（以彩色滤光片厂而言，其 　　　　　同时使用率为100%），一般情况下α之建议值如下： 　　　主管：90~100% 　　　副主管：90~100% 　　　支管：100% 　５）配管尺寸选择： 　依上述内容决定个点之流量及各Main、Submain及支管流量后，视使用点真空度之要求， 　由配管尺寸选定线图（1）~（4）或配管尺寸选定表来选定管路尺寸。 　　　配管之最小管径不得小于15A。 　５．真空设备及系统图： 　　水封式真空泵浦： * 　　水封式真空泵是一种