上海市环境保护事业发展有限公司受上海集成电路研发中心有.PDF

上海环境热线 说明 上海市环境保护事业发展有限公司受上海集成电路研发中心有 限公司委托开展对“上海集成电路产业研发与转化功能型平台项目” 的环境影响评价工作。现根据国家级本市法律法规及规定，并经上海 集成电路研发中心有限公司同意向公众进行第二次信息发布，公开环 评相关内容。 本文为现阶段环评成果。下一阶段，将在听取公众、专家等各方 面意见的基础上，进一步修改完善。 2 上海环境热线 （一）建设项目概况 1、建设项目相关背景 上海集成电路研发中心有限公司（以下简称“研发中心”）是由上海市政府 成立的产学研结合、企业化运作的开放式研发机构，致力于开发先进的集成电路 制造工艺技术，为国内生产企业提供技术来源和知识产权保护。研发中心于 2010 年 6 月牵头承担了市科委支持的“集成电路技术创新服务平台”项目建设，2012 年 9 月牵头承担了市科委滚动支持的“集成电路技术创新服务平台封测能力提升” 项目。目前“集成电路技术创新服务平台” 已具备了集成电路工艺研发服务、IP 核开发和设计支持服务、国产装备和材料应用评价和验证服务、先进封装和测试 服务以及产学研合作的服务能力，并持续为集成电路产业链的发展提供服务支持。 为解决国内尤其是上海市集成电路产业发展过程中遇到的瓶颈问题，根据上 海科创中心建设的相关要求，在市政府相关部门的支持下，研发中心牵头建设上 海集成电路产业研发与转化功能型平台（以下简称“平台” ），在已有平台基础上 进一步提升技术能力、扩大服务规模、整合相关科研力量，开展重大共性技术的 联合开发，解决我国集成电路产业发展的核心技术问题。本次评价内容为研发中 心在平台建设中所承担的部分研发内容。 研发中心本次平台建设内容：上海集成电路产业研发与转化功能型平台旨在 研发和转化服务软硬件整体水平提升至 16nm 及以下工艺；为 CPU 等核心产品 提供自主制造的服务，为上海 12 英寸生产线提供 HKMG 、FinFET 等关键共性 工艺的研发服务；为光刻机、刻蚀机等国产装备以及大硅片、抛光液、光刻胶等 国产材料提供高水平验证服务，每年完成5 种型号设备和 10种型号材料的验证； 每年为 100家以上国内设计公司的 150个以上芯片产品提供设计支持和公共测试 服务，具备 CPU、FPGA 、5G 通信芯片、毫米波器件等高端芯片测试技术研究 与产业化测试能力；完成每年 2000 人次的集成电路产业人才实训；按国家有关 要求，完成特殊工艺技术研发。知识产权（含专利和版图及软件登记）申请 450 件；技术服务收入 9 亿元。 2 、建设项目概况 本项目位于上海市浦东新区张江高科技园区高斯路 497 号现有主厂房内，本 次平台建设总投资约 22 亿元。其中研发中心在平台建设中所承担的部分研发内 1 上海环境热线 容总投资约为 21.62 亿元。项目组成包括主体工程、公用工程、辅助工程和环保 工程等。项目主要组成内容见表 1。 表1 项目主要组成内容 类别 名称 建设内容 利用厂区内现有 FAB 厂房 2 层的闲置区域，进行装修并安装 300mm 硅片芯片生 主体工程 相应工艺设备，新建 300mm 硅片芯片生产线