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含纳米硅粒SiO2薄膜的光致发光.PDF
27 1 ( ) Vol. 27 No . 1
2006 1 Journal of H uaqiao University ( Natural Science) Jan. 2006
2006) 0100350
SiO2
林赏心 郭亨群
( , 362021)
RF SiO . Si SiO ,
2 2
. XRD ;
, 361 nm 30 nm,
. .
, , ,
O 8 . + 1 A
1
, .
Si , , . 1990 , Canham
2 3, 5
Si ,
6 7
, . SiO2
, ,
, . ,
. , .
1
1. 1
( 100) , 7~ 10 !cm, 350 m p
. ,
10 min, 0. 01 HF
, . SiO2
8
, 1 .
( ) ,
. ( ) 10% 15% .
, 6 ∀ 10- Pa, Ar,
80 mL !min- 1 3. 1
- 1
Pa , 300 W, 7. 2 nm !min ,
1
10 min, 72
nm . , . ,
9
, ( # ) 600, 700 800 ; N2
, 1 000 # , 30 min.
( 1979) , , , . Email: bibbylin@ daxontech. com. cn
(
36 ( ) 2006
1.2 XRD
Burker D8 Advance X ( != 0. 251 nm) , 2
. 2 , 15%, 800 # ,
2 XRD
10 K !
, . Sherrer (D = ) ,
B 1/ 2 cos∀
3 nm. D , K Sherrer ,
0. 89, !X , B 1/ 2 ( rad) , ∀.
2 SiO
2
2. 1
Varian Cary Eclipse ( PL) ,
. 265 nm, 320~ 60 nm,
. 10%, 20% 30% ( 3
1, 2, 3) , ( 1 000 # ) 30 min, ( PL) 3 (I r ) .
3 , . ,
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