《坐便器用水效率限定值及用水效率等级》国家标准解读.pdf

A一…NHJ(S…CIEN…CE T—ECHN0L0GY I＆ }ll科’。 一园 而变化的时候 ，可以检测到H：O偏压变化 (见图1)。 图 1 阀门动作 V8．TMH20偏压 另一个测试使用 RGA检测传递腔体残留气体 (H20、N：和 O)在清洗前后偏压的变化，并且在清洗之后发现残留气体偏压 有明显的上升趋势(见图2)。 图2 TMH2O、O：和N2在清洗之后RGA测得的偏压 上述两个实验证明了RGA有能力检测反应腔微环境的变 化。 3．创新的实时工艺控制系统 完整的RGA系统用来在热铝系统中实时监控系统的微环 境，发现残留气体偏压和产品WAT性能之间的关系。图3表明 在大于 9E-8Torr的 HO偏压条 件 下 的 D11产 品存 在 RC Chain _ C2失效问题。这说明了高H20偏压是导致WAT失 效 的根 本原 因。 高 H：O偏压 会形 成 A】空 洞并 导致 RC — Chain— C2失效 。 图3 TMH2O偏压VS．产品WAT 本文收集了传递腔体 (TM)残留气体偏压的基准线，并定义 图4 产品的WAT袁现 了控制界限和规范 ：对于传递腔体 H20偏压而言为9E一8Torr。 如果实时监控到的H20偏压大于9E一8Torr，RGA将通过EAP 四、结论 系统停止工艺设备。自从这种系统在线上安装完成之后 ．D11 随着集成电路关键尺寸的不断缩小，RGA系统作为一种工 产品未再发生RC—Chain_C2失效问题。图4说明了这个明显的 艺的监测手段正发挥着越来越重要的作用 。它保证了Ic生产 改进。 有相对安全的微环境，尤其对高真空工艺。本文成功的建立 了 科 园 i 二、标准主要内容解读 1．适用范围 定值及用水效率等级》 本标准规定了坐便器的用水效率限定值 、节水评价值、用 水效率等级的判定方法、试验方法和用水效率等级说明。 解释：本条款规定的内容是实施水效标识内容的基础 ，其 国家标准解读 中用水效率等级是水效标识中关键内容。 本标准规定的坐便器适用于安装在建筑设施 内冷水管路 上 ，供水压力不大于0．6MPa条件下使用。 解释：本条款规定的适用范围。主要是指本标准适用于 目 前建筑给水排水设计规范中的正常使用的给水压力和最大压 力，并不适用于无水坐便器。 2．坐便器用水效率等级 环保署 《配水箱的高效坐便器技术要求》(EPA：Tank—Type 根据坐便器的用水量：单档坐便器指实测平均用水量；双 High—EfficiencyToiletSpecification)，澳大利亚 《水效产品一分等 档坐便器