GB/T 32281-2015太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定　二次离子质谱法.pdf

ICS77.040.30 H 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT32281 2015 、 、 太阳能级硅片和硅料中氧 碳 硼和 磷量的测定 二次离子质谱法 , , Testmethodformeasurin ox encarbonboronand hoshorusinsolar g yg p p — siliconwafersandfeedstock Secondarionmasssectrometr y p y 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT32281 2015 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )与全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 、 本标准起草单位 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 北京合能阳光新能源技术有限公司 中铝宁 、 、 、 夏能源集团有限公司 宁夏银星多晶硅有限责任公司 洛阳鸿泰半导体有限公司 新特能源股份有限 公司。 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 薛抗美 夏根平 肖宗杰 盛之林 范占军 蒋建国 林清香 徐 自亮 王泽林 、 。 宋高杰 刘国霞 Ⅰ / — GBT32281 2015