制程控制系统设计.ppt

* * * * * * * * * * Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 制程控制系统设计 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 課程名稱 制程控制系统设计 设计处教育训练资料 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 大纲 制程控制系统概述 CDA控制系统 GN2控制系统 PCW控制系统 PV控制系统 制程控制系统 ● 概述 无尘室制程系统主要包含：CDA系统、GN2系统、PCW系统、PV系统； 制程控制系统就是对每一个系统进行自动控制。 制程控制系统 ● CDA系统 空压机 空压机 干燥机 干燥机 tank 过滤器 过滤器 空压机 TO 使用点 tank 制程控制系统 ● CDA系统主要参数： 1、排气量 2、排气压力 3、排气含油量 4、排气含尘量 5、排气露点 制程控制系统 空压机 空压机 干燥机 干燥机 tank 过滤器 过滤器 空压机 tank ● CDA系统自控设计 制程控制系统 空压机 空压机 干燥机 干燥机 tank 过滤器 过滤器 空压机 tank ● CDA系统自控设计 制程控制系统 ● GN2系统 10m3 PSA 纯化器 PSA 纯化器 CDA TO 使用点 制程控制系统 ● CDA系统主要参数： 1、排气量 2、排气压力 3、排气露点 制程控制系统 ● GN2系统自控设计 10m3 PSA 纯化器 PSA 纯化器 CDA 制程控制系统 ● PCW系统 制程控制系统 ● PCW系统主要参数： 1、出水温度 2、出水压力 3、回水温度 4、回水压力 制程控制系统 ● PCW控制设计主要分二部分： 1、水箱控制 2、加压控制 3、过滤控制 4、冷却控制 制程控制系统 ● PCW系统自控设计-水箱控制 制程控制系统 ● PCW系统自控设计-加压、过滤、冷却控制 制程控制系统 ● PV系统 真空机 真空机 储 气 罐 5m3 用气点 排气 排气 CHWS CHWR 水气分离器 水冷却器 真空泵浦（转子） 马达 控制电盘 真空使用端 泵浦入口 泵浦出口 排气 冷却水进水 冷却出水 水进入冷却器 水冷却出口进入泵浦 水，气进入分离器 自来水补水 自来水排水 自来水补水 制程控制系统 ● PV系统自控设计 真空机 真空机 储 气 罐 5m3 用气点 排气 排气 CHWS CHWR 简报结束 谢谢 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 * * * * * * * * Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 制程控制系统设计 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 課程名稱 * * * * * * * * * * * * * * * * * *