【精选】扫描探针显微镜的必威体育精装版技术进展及应用.pdf

19 1 电　子　显　微　学　报 V ol-19, N o. 1 2000 2 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 2000-02 : 1000-6281( 2000) 01-0069-0075 赵清亮　王景贺　李　旦　董　申 ( 哈尔滨工业大学精密工程研究所, 哈尔滨 150001) : 本文 讨论 SP M 基本原理和应用的基础上, 详细介绍了近期 SPM 的必威体育精装版技术进展和成像 模式以及拓展的应用领域, 使我们能对SP M 有 一个全新的认识和了解, 以便把它们更好地应用到研 究领域中。 : 扫描探针显微镜; 原子力显微镜; 表面应用; 成像原理; 工作模式 : T N 16　　: A ( SP Ms) , Binnig Roh e [ 1] 1982 SP M , SPM , [ 2] 100 1986 ( A F M ) , ST M A F M ( ST P) ( BEEM ) ( SICM ) ( ST hM ) [ 3] ( PST M ) ( SNOM ) , SPM , A FM SFM ( ) - , , ( A FM ) ( L FM ) ( M FM ) ( EFM ) , SFM , ( Fo ce M odulat io n) ( Phase Imaging) , SPM SPM 1. ( Force Modulation Microscope) FM M L F M( ) M F M ( ) , F MM FM M , , A FM , Z , , , 1 F MM , kHz , , , , ( ) : 1998-10-20; : 1998-12-25 19 70 , , , , , 1 2 F ig . 1T he amplitude of cantilev e o scillation va ies F ig . 2 T he phase lag v a ies in esponse to . . acco ding to the mecha nical p o pe ties of the su face the v isco ela st icity of a sample s su face 2. ( Phase Detection Microscope) , , 2 A FM MF M , F M M , ( ) ( ) , , [ 4] , , , L FM , , SFM