25MW电池线设备及外围配置清单.doc

25MW电池线设备及外围配置清单 序号 名称 数量 1 一次清洗机SC-14060 1 二次清洗机SC06060 1 清洗石英管机 1 超声波清洗机（清洗硅片油污） 1 2 清洗花蓝（125、156硅片通用） 60 3 烘干、甩干机 3 4 4管扩散炉M5111-4W/UM 2 5 扩散炉用石英器件备件＋备用石英管一根（5万） 批 6 刻蚀机 3 7 备用石英管与夹具 套 8 PECVDM82200-3/UM 2 9 备用石墨电极6套＋石英管一根 10 石墨电极存储柜 1 11 进口丝网印刷系统 1 12 进口分类检测系统 13 高温烧结炉RC11-2/UM 1 14 包装网带炉RC10-1/UM 1 15 光学显微镜CMM-30 1 16 椭偏仪SCG-2 1 17 WCT少子寿命测试仪 1 18 运载硅片手推车(特做) 6 19 搬运车(特做) 2 20 局部净化装片台 2 21 工作台 9 22 板凳 20 23 石英器具存储柜BHG 1 24 真空吸片笔 25 25 测校温用S型热电偶 套 26 兆欧表 1 27 125硅片花篮盒(PVDF) 200 28 125硅片盒(聚丙烯塑料) 150 29 156硅片花篮盒(PVDF) 200 30 156硅片盒(聚丙烯塑料) 150 31 印刷浆料搅拌机 2 32 玻璃量杯100元/个 5 33 玻璃量筒100元/个 5 34 塑料量杯100元/个 5 35 塑料量筒100元/个 5 36 酸式滴定管100元/个 3 37 碱式滴定管100元/个 3 38 塑料勺2L100元/个 3 39 TEF镊子200元/个 20 40 长塑胶手套50元/个 6 41 一次性手套100元 1000 42 塑胶围裙300元/个 2 43 防尘手套50元/个 4 44 滤纸100元 批 45 化学试纸100元 批 46 防毒面具 2 47 贮片柜 3 48 20m3/1.6MPa氮罐（36．5）+汽化器（3）＋安装费（1.5）＋减压阀（2） 1 49 5m3/1.6MPa氧罐（16．5）+汽化器（3）＋安装费（1.5）＋减压阀（2） 1 50 硅烷燃烧塔 1 51 空气压缩机(最高25，最低10) 1 52 纯水系统（最高280，最低110）20m3/小时 套 53 废水处理系统（最高90，最低68）20m3/小时 套 54 冷冻水循环系统（最高19，最低6） 套 55 废气雾化处理装置 1 56 真空发生器 1 57 特气管道系统: 1 58 引到设备气路管道系统、空压管路系统、水路管路系统 1