真空计维修.ppt

1 真空规管的使用与保养 皮拉尼规 PSG 皮拉尼规 PSG ---电气连接 Sensor element 皮拉尼规 PSG ---信号输出 皮拉尼规 PSG ---维护 皮拉尼规 PSG ---维护 皮拉尼规 PSG ---维修 PSG: 灯丝检查 检查灯丝阻值 PSG: 污染防护 电离- 皮拉尼复合规 复合规BPG------电气连接 BPG400: 电气连接 复合规BPG------信号输出 复合规BPG------维护 复合规BPG------维护 皮拉尼零点调整 原理上讲，当压力低于1E-3mbar时，规管自动调整零点，调整值每六小时自动存储。 BPG400: 维护 除气 复合规BPG------常见故障 BPG400: 故障诊断 灯丝 BPG400: 备件 冷电离规---潘宁规 PEG 潘宁规 输出信号 测量范围 1E-9 … 1E-2 mbar  测量输出信号 0.66 – 10V 输出信号 0 – 10.6V 故障信号输出 (无放电) 0.4V 正常测量时绿色指示灯亮 PEG: 电气连接 PEG: 故障诊断 PEG ： 清洗或更换备件 工具及备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG ： 清洗或更换备件 PEG: 备件 1。更换清洗套件： 订货号：351-490 包括 阴极片（5个） 陶瓷垫（5个） 2。阳极环 订货号：351-499 3。测量头（包括磁组件） 订货号：399-510 MPG400, MPG401 SPARE PARTS Pirani Adjustment Electrical Connection – Pin out VGC40X (真空计控制器） VGC40x 控制器可连接我司生产的各种型号规管； --- 自动识别规管 A/D转换分辨率为16数据位； --- 最多小数点后有4位数据 软件升级可通过计算机自动完成，不需更换硬件； --- 最大程度兼容信规管 2/3 通道规管可同时显示，或自动/设置关闭； 有自动故障检测程序，方便故障查找； 软件内容丰富，满足各种设置需要； 维修资料 如果你的真空测量仪器出现故障，需要帮助，请提供：: 故障产品的订货号 故障产品的出厂编号 故障描述（越详细越好） 联系方式 购买日期 污染情况报告表 第六步：插入阳极环 第七步：调整阳极环 第八步：装入阴极片 第九步：检漏（建议） MPG400 High Vacuum Adjustment ATM Adjustment 皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101 PCG400（复合规） 3 电气连接口 FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出 7 输出电压范围:0-10.0V； 测量信号范围：1.9-10.0V； 灯丝故障：0.5V； 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级) P=10 1.286(U-C) P:实际压力; U :输出电压; C:常数 (mbar:6.143; Torr:6.304; Pa:3.572) 例如:某规管测量的输出信号为6.14 V 那么实际压力为P=10 1.286(6.14-6.143) =1.0 mbar 9 1. 清洗规管 灯丝部分可清洗 清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点 10 规管调整 调整方法: 1 安装规管成正常使用状态 2 放气至大气压,等10分钟 3 按下调整电位器 ,规管自动 调整满点 4 排空到小于1X10-4 mbar， 等待10分钟 5 按下调整电位器，规管自动调整零点 12 常见故障: 1 输出信号 0.5V 可能原因: 无电源 需要调整 灯丝故障 2 真空测量不准确 可能原因: 零点漂移,需调整