三氯氢硅氢还原法制多晶硅自控难点和选型.pdf

__r=程设计及标准 石 油 化 工 自 动 化，2010，5：16 AUT()MATION IN PETR()一CHEM ICAIINDUSTRY 三氯氢硅氢还原法制多晶硅的自控难点及选型 朱 黔 ，张英杰 (华陆工程科技有限责任公司，西安 710054) 摘要 ：多晶硅项 目由于工况特殊、技术不成熟、工程经验不足等原因，在 自动控制和现场仪表选型上存在很多问题，装置 运行过程中仪表 的使用效果和寿命均不尽人意 、自动化水平也较低 ，阐述 了该工艺流程中的控制难点及仪表的正确选用 ，并对 还原炉的 自动控制提出一些合理 的控制力案‘，从而提高了多 晶硅生产的稳定性 、减少 了，副产物 、降低了多晶硅生产的能耗 ，提高 r产品质量。 关键词 ：多品硅 ；闭环式三氯氢硅氢还原法；流量配比调节 中图分类号 ：TP273 文献标志码 ：B 文章编号 ：1007 7324(2010)050016—04 ControlDifficultiesand InstrumentsSelection in theClosedLoop TCS(trichlorosilane)HydrogenationProcess ZhuLing，ZhangYingjie (TheHualuEng． Tech．Co．Itd．，Xi’an，710054，China) Abstract：Because situations is special，technology is not very matured and short experience etc ． reasons，therearemanyproblemsin theauto—controlofprocessand field instrumentselection in the polycrystalsilicon plantand instruments’performanceand lifecan behardly satured，processauto controJ】eve】is lOW somehow． The dJfficults ofprocesscontroJand rightinstrument selection is described．SomereasonableautocontrolschemesofCVD reactorsareproposedtoimproveproduction stabilityandproductqualityonthebasisofreducedby～productsandconsumptions ． Keywords：poly—crystallinesilicon，closed loop TCS(trichlorosilane) hydrogenation process。flowrate ratiOcontro1 1 工艺特点及其 自动控制难点 三氯氢硅还原法生产多晶硅的重要原料三氯氢硅 闭环式三氯氢硅氢还原法工艺生产装置主要 是由氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成而得。 有下列单元组成：制氢、氯化氢合成 、三氯氢硅合 目前三氯氢硅