F1SPI3800N基本操作说明.doc

SPI3800N基本操作说明（SPA-400部分） 本说明是介绍SPI3800N控制部分+SPA-400组成的系统进行测量中经常进行的基本操作。为简化说明书，本说明书其他部分如操作与基本操作过程相同，则在具体介绍中省却详细介绍，详细介绍可以参见本说明。如操作过程与本说明不尽一致，将会在具体介绍中加以介绍。 1.系统的启动 （1）位于SPI 3800 N电气部分的后面板的下部的总电闸处于OFF的位置时，请打到ON。 SPI 3800 N电气部分（后面板） （2）将SPI 3800 N电气部分的正面板中央的电源开关打到ON的位置。 （处于ON的位置时，开关点亮） SPI 3800 N电气部分（正面板） （3）请接通计算机和显示器的电源。Windows启动。 Windows的环境设定 使用SPI Win 时，请按下述内容设定Windows环境。 (析像度：1024 × 768 dot (色数：全彩色（1670万色） →参照SPI 3800 N手册的“硬件指南E - 1”的计算机部分的“规格”。 2.安装Scanner、样品和Cantilever的过程 除振台的确认 （1）请按除振台的四角，确认其浮动着。 请务必确认。有时即使有一处接触，测定也会不顺利。 Scanner的安装 （2）必要时，请更换Scanner。 安装了Scanner的状态 试样的安装 （3）安装试样台。Scanner头顶部的部分装有磁铁，所以只要放上就可固定住。 安装了试样台的状态 （4）将试样放在试样台上。不稳定时，请将其粘在试样台上。进行电流同步测定时，请务必将试样和试样台导通。 1.试样的厚度，包括试样台的厚度，最大为10 mm。 2.试样过重，有时会影响Scanner的动作。请不要放过重的试样。 3.试样的大小以不大于试样台的大小（直径20 mm）为大致的标准。稍微大一点也没问题。但是，最大值约为40 mm。 4.若未固定好就进行测量可能产生移位。请固定好后再测定。 Cantilever的安装 （5）准备cantilever和cantilever支架(holder) （6）请压着cantilever压板向左挪动，打开cantilever的安装部分。 cantilever压板的移动方法 （7）将cantilever放在cantilever的安装部分 cantilever的安装位置 （8）请压着cantilever压板向右挪动，压下cantilever。 压下cantilever的状态 1.cantilever压板请务必压着挪动。若不压着只是挪动，就有可能使 cantilever掉下来。 2.有时cantilever倾斜，激光光轴的调整就不顺利。安装好后，请确认有无倾斜和不稳。 左：错误例（未放下去）、右：正确例 （9）将cantilever支架(holder)安装在unit上。支架(holder)用磁铁固定。 安装了cantilever支架（holder）的状态 1.请特别注意不要使cantilever和cantilever支架(holder)与试样接触。快接触到时，请用approach对话框的离开(Move)指令（“低速”、“高速”）使试样台降下来后再安装。 2.请确认支架（holder）是否与导销吻合。若出现错位，有时会导致测定不顺利。 参数表（parameter table）的选择 （10）打开scanner和cantilever的设定[Setup Console]对话框。请选择“set up”菜单中的[Console]指令 “set up”[Console] [Scan Console]对话框打开时，不能选择[Setup]的[Console]指令。请先将 [Scan Console] 对话框关闭后再操作。 （11）选择与安装的scanner以及cantilever相应的参数表(parameter table)。Scanner表、cantilever表从各自的list box中选择，选好后请点击[Quit]。 “scanner和cantilever的设定”(Setup Console)对话框 请务必选择与安装的scanner以及cantilever相应的参数表(parameter table)。若不相符的话，有可能使测定和处理不能准确进行。 3.调 整 激 光 光 轴 用CCD像确认cantilever和试样 （1）将光头