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LDMOS 代码 Sprocess
#----------------------------------------------------------------------## LDMOS example #----------------------------------------------------------------------##header#----------------------------------------------------------------------#graphics on cmd=plot.2d grid gassetXmax 10.0setYmax 11.0set adapt @adapt@set DEBUG 0 ;# DEBUG=1 will save additional intermediate ;# structures for versification.setdiff_info 1 ;# diff_info=3 will include a very detailed log ;# with respect to diffusion outputsetimpl_info 1 ;# impl_info=3 will include a very detailed log ;# with respect to implantation outputprocUserImpPostProcess { Species Name Energy Dose Model IFacVFacCDose } {pdbSetDouble Diffuse InitTimeStep 1.0 }procUserDiffPostProcess { } {pdbSetDouble Diffuse InitTimeStep 60.0 }refinebox clear#refineboxinterface.materials = Silicon#----------------------------------------------------------------------##endheader#----------------------------------------------------------------------##----------------------------------------------------------------------## Time stepping controls #----------------------------------------------------------------------#pdbSet Diffuse dThickness 0.002pdbSet Diffuse dThicknessEpi 0.5pdbSet Diffuse MaxGrowthStep 100.0pdbSet Diffuse IncreaseRatio 5.0pdbSet Si Grid epi.perp.add.dist 5e-5pdbSet Oxide Grid perp.add.dist 5e-6pdbSetDouble Diffuse InitTimeStep 60.0 #----------------------------------------------------------------------## Adaptive meshing controls#----------------------------------------------------------------------#if { $adapt == 1 } {refinebox !keep.linespdbSet Grid Adaptive 1pdbSet Diffuse Diffuse.Regrid.Steps 10pdbSet Diffuse Growth.Regrid.Steps 50pdbSet Diffuse Epi.Regrid.Steps -1# pdbSet Grid Refine.Factor {2.0 2.0}pdbSet Grid Refine.Percent 0.1pdbSet Grid Unrefine.Percent 75pdbSet Grid Damage Refine.Type intervalpdbSet Grid Damage Refine.Min.Value 1.15e22pdbSet Grid Damage Refine.Max.Value 1.15e22
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