《纳米技术在电子封装中的应用》-李明雨，哈尔滨工业大学.pdf

纳米技术在电子封装互连中的应用 李明雨/工学博士，教授/博导 电子封装材料及技术研究中心 哈尔滨工业大学（深圳） 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 电子封装中的纳米技术  纳米技术定义。  纳米技术对封装技术发展的促进作用。 解决既有封装技术的瓶颈 促进纳米电子封装新概念  纳米金属颗粒 纳米钎料合金、纳米银、纳米铜… …  纳米复合结构 纳米颗粒复合钎料合金、纳米颗粒复合互连点  纳米结构互连能源 纳米燃烧层… …  纳米结构冶金互连 UBM、纳米单晶互连点 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米钎料合金 一、纳米无铅钎料研发的目的和意义 1.1 纳米无铅钎料的特点 1.2 纳米无铅钎料的应用 二、纳米无铅钎料的制备 2.1 制备方法 2.2 影响因素 三、未来需解决的问题 3.1 团聚问题 3.2 熔化问题 3.3 融合问题 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米无铅钎料的特点-熔点低 颗粒尺寸与熔化温度之间的关系 J. Alloy. Comp. 2009, 484, 777-781 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米无铅钎料的特点-过冷度大 纳米SnAgCu钎料 传统SnAgCu钎料 Mater. Characterization, 2 0 1 0, 6 1, 4 7 4-4 8 0 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米无铅钎料的应用-传统电子封装领域 Small 2009, 5(11), 1246- 1257 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米无铅钎料的应用-纳米器件的连接 Small 2006, 2, 225–229. Langmuir 2004, 20, 11308- 11311 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 纳米无铅钎料的制备 哈尔滨工业大学（深圳） myli@hit.edu.cn 影响因素-先驱体种类