微纳米测量机工作台的结构及性能.pdfVIP

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2017-12-14 发布于河北
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11 No． 11 第期组合机床与自动化加工技术 2012 11 Modular Machine Tool ＆ Automatic Manufacturing Technique Nov． 2012 年月文章编号:1001 － 2265 (2012)11 － 0032 － 03 微纳米测量机工作台的结构及性能分析* ，陈贺陈晓怀 ( ， 230009) 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥 : 、。 X 、Y 摘要对微纳米测量机新型工作台进行了结构及静动态性能分析比较了不同结构的工作台 ; ，。 : 的静态变形和刚度对三维工作台进行了模态和谐响应分析得到振动频率和振动位移分析表明， ; ，合理的结构设计能够减小工作台的变形量增加工作台的稳定性工作台受驱动不会产生共振动态性能满足要求。 : ; ; ; 关键词微纳米测量机三维工作台性能分析结构变形中图分类号:TH121 ;TP273 文献标识码:A The Structure and Performance Analysis of Macro-nano CMM Stage CHEN He ，CHEN Xiao-huai (School of Instrument Science and Opto-electronic Engineering ，Hefei University of Technology ，Hefei 230009 ，China) Abstract :Analy sis the structure static and dynamic performance of a new macro -nano CM M stage． Compare static deformation and stiffness of different structure of X and Y stage ;obtained vibration fre- quency and displacement by the modal and harmonic analy sis on the 3D stage． The analy sis show s that reasonable structure design can reduce deformation of the w orkbench ，and can increase the stability of the w orkbench ;the stage can not produce resonance ，the dynamic performance meet the requirements． Key words :macro -nano CM M ;3D stage ;performance analy sis ;structure deformation