微细铣削和微细车铣切削技术.pdfVIP

Future Cutting Tool 未来刀具 微细铣削和微细车铣 切削技术 * - - - Micro Milling and Micro Turning Milling Technology 沈 阳 理 工 大 学 机 械 工 程 学 院 朱茂霞 沈阳理工大学辽宁省高速切削工程技术中心 金成哲 微细铣削和微细车铣切削技术与 LIGA 和光刻等其 他微细加工技术相比，具有体积小、能耗低、生产灵活、效 率高等优点。而无论从理论分析还是实际加工，微细车铣 切削技术更适合于微细长轴类零件的加工，它在改善微小 型零件的切削状态、实现高速切削、降低切削力、延长刀具 寿命、保证零件加工质量、提高加工效率等方面都具有明 显的优势，是一种非常适合微小型零件加工的方法。 且具有一定形状精度和表面质量要 作出的各种微型机械有着日益广阔 朱茂霞 求的精密三维微小零件的需求日益 的应用前景，因此，国内外的一些高 沈阳理工大学机械制造及其自动 化专业硕士研究生，从事先进切削加工 迫切 [1] 。微小型制造技术作为先进 等院校和研究机构对此进行了不断 技术研究。 制造技术的重要发展方向和多学科 的探索。从 FANUC 公司 [2] 采用微 交叉的科技研究前沿，因此备受有关 铣削技术加工的零件微观形貌上看， 研究机构的关注。围绕着微细切削 该零件是一个高深宽比的梯形沟槽， 航空航天、国防工业、现代医学 技术，国外展开了深入的研究。国内 开度角为 3°，沟槽跨度为 35μm，工 以及生物工程技术的发展对微小装 部分大学和研究所也进行了初步的 件材料是铜，采用微铣削加工 5min 置的功能、结构复杂程度、可靠性的 研究。 就可以完成，且侧壁加工精度很高。 要求越来越高，从而使得对特征尺寸 采用 FANUC 公司制造的车床型微型 在微米级到毫米级、采用多种材料、 微细切削加工 铣床可以实现三维自由曲面的微细 采用微细切削技术可以实现多 切削加工。从加工的微透镜体图中 种材料任意形状微型三维零件的加 可看出，零件表面高低差为 16μm， *　 辽宁省教育厅科学技术研究重点实验室 项目（LS2010138）资助。 工，弥补了 MEMS 技术的不足，所制 直径为 236μm，加工后的表面粗糙 2011 年第 5 期·航空制造技术 51 论坛 FORUM 度 R z 为 0.1μm，这些均是 MEMS 技 型。M. T. Zaman 等 [6] 根据理论切屑 学研究实验室的专家，弗罗里达国际 术以及同步辐射 X 射线深度光刻、 面积来估计切削力的大