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一种用于液体静压导轨高精密液压站设计.pdf

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2014年 1月 机床与液压 Jan.2014 第42卷 第2期 MACHINE T0OL & HYDRAULICS Vo1.42No.2 DOI:10.3969/j.issn.1001—3881.2014.02.016 一 种用于液体静压导轨的高精密液压站设计 赵午云 ,郭勇 (1.中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900; 2.四川大学化学工程学院过程装备与安全工程系,四川成都 610065) 摘要:液体静压导轨是精密超精密加工机床的重要功能单元,液压站是液体静压导轨正常工作的必要辅助单元。液体 静压导轨要保持高的精度 ,液压站必须能够为静压导轨提供压力非常稳定的润滑油输入。设计一种用于液体静压导轨的高 精密液压站,该液压站利用变频电机驱动精密齿轮泵供给润滑油 ,利用全闭环反馈调节装置控制润滑油的稳压输出。实际 测量证明:该液压站的输出压力稳定精度可达 4-0.05%,应用于超精密机床上的液体静压导轨取得了良好的效果。 关键词:液压站 ;液体静压导轨;精密机床 中图分类号:TH137.9 文献标识码 :A 文章编号:1001—3881(2014)2—045—3 DesignoftheUltra-precisionHydraulicStationforHydraulicStaticPressuredGuide ZHAO Wuyun ,GUO Yong (1.InstituteofMechanicalManufacturingTechnology,ChinaAcademyofEngineeringPhysics, MianyangSichuan621900,China;2.DepartmentofProcessEquipmentandSafetyEngineering, CollegeofChemicalEngineering,SichuanUniversity,ChengduSichuan610065,China) Abstract:Hydraulicstaticpressuredguideistheimportantfunctionunitofprecisionmachinetoo1.Hydraulicstationisindispen— sableandsupplementaryunitforhydraulicstaticpressured guidein normaloperation,and mustprovidehydraulicstaticpressured guidewithlubricatingoilofinvariablepressure.Anultra—precisionhydraulicstationofrhydraulicstaticpressuredugidewasdesigned. Inthishydraulicstation,lubricatingoilwasprovidedbyprecisiongearpumpdrivenbyvariablefrequencymotor,andpressureexport wasensured tobe steadyby full-closed loop feedback contro1.The export pressureprecision ofthehydraulicstation can reach 4-0.05% .Goodeffectisgainedintheapplicationofthehydraulicstationonthehydraulicstaticpressuredug ideofuhra—precision machinetoo1. Keywords:Hydraulicstation;Hydraulicstaticpressuredguide;Ultra—precisionmachinetool 液体静压导轨是将具有一定压力的润滑液经节流 “恒压”供油。为了更好地提升该液

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