JJG 828-0993 激光千分尺平行度检查仪.pdf

JJG 828- 1993 激光千分尺平行度检查仪检定规程 本规程适用于新制造、使用中和修理后的激光千分尺平行度检查仪的检定。 一 概 述 激光千分尺平行度检查仪 (简称平行度检查仪)是利用激光光束通过一套光学系统 形成点光源所发出的球面波，分别经标准棱镜两平行平面与被测千分尺两测量面反射 后，先后在光屏上形成干涉环，由这两组干涉圆环的中心距确定被测千分尺两测量面的 平行度。 仪器结构如图1所示，其光学系统如图2所示。 图1 仪器结构 1-固定反射镜:2-激光电源;3一光屏座;4一底座;5一左支承;6一反射镜调整台;7一标准梭镜;8一右支承; ，一工作台;10一千分尺示值误差检具;11-d尺;12-研磨器架;13一支架;14-激光器架;15-D尺 3 4 5 ‘ 2 1 9 l 8 / 图2 光学系统 1-He一Ne激光器;2,3-固定反射镜;4-聚光镜;5一光屏; 6一可移动反射镜;7一千分尺测杆;8一标准棱镜:9一千分尺侧砧 JJG 828- 1993 二 检定项 目和检定条件 检定项目和主要检定工具列于表to 表 t 检 定 类 别 序号 检 定 项 目 主 要 检 定 工 具 新制 的 修理后 使用 中 1 外观 + + 十 2 各部分相互作用 十 十 十 3 光屏座指标线位置的正确性 游标卡尺和深度游标卡尺 + 十 4 D尺和d尺位置正确性 游标卡尺 + 十 千分尺示值误差检具 5 表面粗糙度比较样板 + 十 十 测量头表面粗糙度 6 研磨器架工作面平面度 2级平面平晶 十 + 十 活动标尺旋转中心对公差圆中心 7 工具显微镜 十 十 的偏移量及活动标尺示值误差 3等 (或 1级)量块、分度值 8 示值误差 + + + 为 1自准仪、双面反射镜 注:表中 “+”表示应检定，“一”表示可不检定。 2 检定条件 检定室的温度应在 (2015)℃范围内，温度变化每小时不超过1`C。检定仪器及主 要检具应放在检定室内，平衡温度的时间不少于24h。检定前应提前0.5h启动激光电 源，进行预热。 2