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MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验
第37卷第6期 红外与激光工程 2008年12月
V01．37No．6 InfraredandLaser Dec．2008
Engineering
MEMS微变形反射镜校正波前静态畸变实验
谭佐军1-一，陈海清1，康竞然1，张坤1
(1．华中科技大学光电子科学与工程学院，湖北武汉430074；
2．华中农业大学理学院应用物理系，湖北武汉430070)
摘 要：微变形反射镜(MEMS．DMs)是用于自适应光学中波前校正的重要元件。对微变形镜波前
校正原理进行了分析，设计了基于自适应光学系统的测试系统，通过闭环控制技术成功地利用一种分
最大，是造成整个波面畸变的最重要的原因。MEMS-DMs对低阶渡前畸变校正较好，高阶波前畸变校
正时残余误差比较大。增加控制电极数量可以更好地校正高阶模式的波前畸变。基于自适应光学系统
的MEMS．DMs波前畸变校正实验系统，可以为今后全面优化设计微变形反射镜及其更适应自适应光
学系统的需要提供实验数据与理论支持。
关键词：自适应光学； 微变形镜； Zernike多项式；波前畸变
中图分类号：TN241文献标识码：A 文章编号：1007—2276(2008)06一1070—04
oncorrectiontothestaticwavefront
Experiment ability
aberrationofMEMS-DMs
TAN Kunl
Zuo-junl”，CHENHai-qin91，KANGJing-ranI,ZHANG
of ofScienceand
Optoelectromc University Technology。Wuhan430074，China；
(1．Department Engineering，Huazhong
of ofBasic 430070，China)
2．DepartmentApphedPhysics，CollegeSciences，HuazhongAgricultureUniversity，Wuhan
Abstract：MEMSdeformable a elementin
mirror(MEMS-DMs)isveryimportant adaptiveoptical
ofcorrectiontothestaticwavefrontaberrationofMEMS-DMswas
system．Theoryanalysis ability
basedon wasmadetotestthecorrectionof
experiment
described．Testing adaptiveopticssystem ability
MEMS·DMs the
control resultsshowthat wave
by technology experimental
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