多功能蒸发控制模块-Bronkhorst.PDF

多功能蒸发控制模块 气体/液体质量流量计/控制器（MFM/MFC） Bronkhorst High-Tech B.V.，专注于提供质量流量控制解决方案， 具有多年的丰富经验，且应用广泛，如：半导体、化工和太阳能 等行业。仪表壳根据客户的需求定制，可适用实验室、工业系统 或OEM系统安装的要求。Bronkhorst®热式流量计/控制器为惰性 气体和反应器气体提供高精准、高重复性的控制，其量程范围从 3 0.7 ml /min 到10000 m /h (满量程) 。Bronkhorst基于热式传感器 n n 的液体流量计/控制器，用于较小流量，其范围从75 mg/h 到 20 kg/h；基于科氏传感器的则用于较大流量，量程范围从50 mg/h 到 600 kg/h 。 蒸发混合配比控制 作为传统发泡系统的现代完美替代方案，Bronkhorst于90年代中期 推出了蒸发混配控制系统，即CEM系统。该创新的蒸发解决方案是 基于一台液体流量控制器、载气控制器和温度控制来实现蒸发混配 的。此蒸发解决方案的特点是精度高、复产高效、响应快速，对工 况温度和压力要求不高。CEM技术在分析应用、镀膜系统和反应器 特性 加湿等领域有很多成功的应用案例。 u 提供稳定而精准的蒸汽质量流量 多功能蒸发控制模块 u 快速响应 u 复产高效 集成CEM系统和更多组件后，Bronkhorst推出了创新的VDM系列 u 可处理水、溶剂、液体混合物 产品。VDM系统具有一体化结构，和多合一、多功能的特点。 u 灵活多变的气液比 除了集成气液控制器和温度控制蒸发器之外，VDM系统还集成了 u 工作温度低于传统发泡系统 1,8“TFT数字显示模块和相关控制功能模块。另外，增加了就地或 u 经实践验证的蒸发方式 远程加热温度控制的监控可选功能。即插即用又小巧的VDM模块 u 无需设计或生产经验 可产生（饱和）蒸汽，其流量范围从50 ml /min 到 10 l /min 。可 n n u 预测试，安全可靠 用于大气或真空工艺，可蒸发混合物，甚至溶于溶剂中的固体。 u 本地或远程控制(RS232 / FLOW-BUS) u 读数/控制面板，包括1,8” TFT显示器、报警/信号和计数功能 可选项 u 双载气供应 u 稀释气体供应 u 监控加热温度控制，带状态指示 应用情况 VDM系列蒸发器非常适合半导体芯片、显示器和太阳能电池的气相 沉积和镀膜处理的应用。对比传统发泡器，VDM提供快速、精准、 高重复性和高效的流量控制。CEM的工作原理已经在分析设备的校 准应用中得到验证，如气相色谱仪和质谱仪、麻醉剂输送以及燃料 电池