玻璃基板cigs.pptx

GIGS生产工艺及其设备客户服务部目录一、光伏产品1.1光伏原理1.2光伏材料1.3光伏应用1.4光伏前景二、CIGS生产工艺及其设备2.1 CIGS产品简介2.2 CIGS功能结构2.3 CIGS工艺步骤1.1光伏原理 光伏发电是利用半导体界面的光生伏特效应而将光能直接转变为电能的一种技术。这种技术的关键元件是太阳能电池。太阳能电池经过串联后进行封装保护可形成大面积的太阳电池组件，再配合上功率控制器等部件就形成了光伏发电装置。太阳能电池1.2光伏材料 能将太阳能直接转换成电能的材料。光伏材料又称太阳电池材料，只有半导体材料具有这种功能。可做太阳电池材料的材料有单晶硅、多晶硅、非晶硅、GaAs、GaAlA、InP、CdS、CdTe、CIGS等。用于空间的有单晶硅、GaAs、InP。用于地面已批量生产的有单晶硅、多晶硅、非晶硅。 硒晶硅1.3光伏应用 光伏发电系统是由太阳能电池方阵，蓄电池组，充放电控制器，逆变器，交流配电柜，太阳跟踪控制系统等设备组成。其部分设备的作用是：应用结构图1.4光伏前景 CIGS薄膜太阳自电池二十世纪七十年代起步以来,就受到人们的普遍重视，发展非常迅速，已成为国际光伏界的研究热点，很有希望成为未来的主流产品。由于它具有：禁带宽度可调整范围大、光吸收率高、制造成本低、抗辐射能力强、转换效率高、电池性能稳定、无衰退性等优点，适合各种地面和空间应用，尤其适用于航空领域。家庭应用发电应用2.1 CIGS产品简介 CIGS是/view/1235725.htm太阳能薄膜电池CuInxGa(1-x)Se2的简写，其具有稳定性好、抗辐照性能好、成本低、效率高等优点。CIGS薄膜太阳能电池，由Cu（铜）、In（铟）、Ga（镓）、Se（硒）四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池，是组成电池板的关键技术。2.2 CIGS功能结构CIGS太阳能薄膜电池衬底为覆有Mo层的钠钙玻璃，一般采用直流磁控溅射法沉积Mo钼作为支持层。而CIGS薄膜的生长则采用三步共蒸发。再采用水浴法沉积CdS薄膜，接着溅射双层的ZnO薄膜，再用电子束蒸发制备Ni/Al电极，最后上面再覆盖一层增透膜MgF2。2.3 CIGS工艺步骤2.3.1基板玻璃上料机(GLL) 将玻璃从架子上取出放到指定位置，作为基板玻璃。 2.3.2清洗机(GLW) 中压高温水冲淋、滚刷和烘干，清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及表面的颗粒残渣、污染痕迹。 2.3.3溅射镀膜（sputter） (ROC) 将钼均匀的溅射在基板上，钼膜层作为电池背电极。 2.3.4激光划线机(CTC) P1采用激光划刻Mo层,钼层被划成多个小单元。 2.3.5玻璃清洗机 中压高温水冲淋、滚刷和烘干，清洗掉划线后留下的钼金属残渣。2.3.6检测设备(CTC) 探针通过弹簧式多级接触方式检测,主要对划线不完整的、有瑕疵，并检测是否有短路现象。 2.3.7蒸镀机(ROC) 采用三部蒸镀法蒸镀电池吸收层。 2.3.8化学水浴设备(ROC) 用化学水浴浸泡吸收层，基板加热，同时做三维震荡，CdS均匀的沉积保护吸收层免受窗口层溅射时损坏吸收层。 2.3.9玻璃清洗机(GLW) 中压高温水冲淋、滚刷和烘干，清洗留在玻璃表面上的化学夜。 用刷子和水喷雾清洁和干燥玻璃的顶部和底部表面适当的位置，再传送玻璃。2.3.10溅射镀膜（sputter）(ROC) 将本征ZnO均匀的溅射在CdS上，有效提高电池的整体效率，调高并联电阻，提高开路电压。 2.3.11划线机(DEC) P2采用机械划线划吸收层、缓冲层、ZnO层，吸收层、缓冲层、ZnO层被划成多个单元。 2.3.12溅射镀膜(ROC) 将玻璃从架子上取出放到指定位置，作为基板玻璃。 2.3.13激光划线机(CTC) 激光划线机，P3采用激光划刻ZnO：AI层，ZnO：AI层被划成多个单元。 2.3.14清边机(SHD) 全自动切割并敷设密封材料至模组。在不损伤玻璃和密封材料的情况下，精确定位、切割密封材料，覆膜后按要求固定膜片，防止传输过程中偏移。2.3.15低照度检测机构(IRS) 在低照度所有子电池的开路电压，用于判断是否存在并联电阻。2.3.16激光转孔机 激光钻孔，孔洞为汇流条与接线盒之间连接所需的穿插孔。 2.3.17清洗机(GLW) 中压高温水冲淋、滚刷和烘干，清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及表面的颗粒残渣、污染痕迹。 用刷子和水喷雾清洁和干燥玻璃的顶部和底部表面适当的位置，再传送玻璃。2.3.18导线连接机 铜带分别粘贴在CIGS电池板的两侧正负极电池上。 2.3.19前玻璃上料机(GLL) 将玻璃从卡架中取出放在指定位置,增加电池强度。 2.3.20清洗机(GLW) 中压高温水冲淋、滚刷和烘干清洗掉玻璃间隔树脂粉末以及表面的颗粒残渣、