基于专利信息可视化的IGZO发展态势研究.pdfVIP

2014~6 sci洲…dTe罐 。mR眦h doi：10．3969／j．issn．1000—7695．2014．06．009 基于专利信息可视化的IGZO发展态势研究 陈慧琪 ，陈振标 ，刘敏榕 (1．福州大学信息管理研究所，福建福州 350108； 2．福州大学图书馆，福建福州 350108) 摘要：以专利计量学的方法和相关理论为指导，以德温特创新索引数据库收录的有关铟镓锌氧化物 (IGZO)的 专利为数据源，借助可视化分析X-．具CitsSpaceII，对IGZO技术进行专利申请量、申请人地区、主题词共现、核 心专利以及德温特手工代码共现可视化分析，以揭示该领域的发展趋势。研究发现，IGZO技术处于快速增长阶 段 ；申请地区较为集中；IGZO研究的热点领域为 IGZOTFT整体结构的改进和 IGZO薄膜的成膜工艺等。我国研 究机构应采取产学研的策略，政府出台相应政策，从而促进 IGZO技术及产业发展。 关键词：铟镓锌氧化物；专利计量；可视化；发展 态势 中图分类号：G306 文献标志码：A 文章编号：1000—7695 (2014)06—0038—06 StudyonDevelopmentStatusofIGZO BasedonPatentVisualization CHEN Huiqi，CHEN Zhenbiao ，LIU Minrong， (1．InformationManagementInstituteofFuzhouUniversity，Fuzhou350108，China； 2．LibraryofFuzhouUniversity，Fuzhou350108，China) Abstract：UsingpatentometricsmethodsandtheoriesforguidanceandtakingDerwentinnovationindexasthedatabase。 thepaperchooseIGZO patentdocumentstoanalyzethekeytechnologiesinthefield．ByusingCitespaceII，thepaperana— lyzesthepatentapplications，applicantregion，topicsCO—occurrence，corepatentandmanualcodesCO—occurrence，in ordertorevealthetrendofIGZO technologydevelopment．ThestudyfindsthattheIGZO isinarapidgrowthphase；the applicationareasareconcentrated：thehottopicsofIGZO areIGZO TFrstructureimprovementandmaking—membrane techniqueofIGZO．ThegovernmentshouldunveilcorrespondingpoliciestopromotethedevelopmentofIGZO technology． Keywords：IGZO；patentometrics；visualization；developmentstatus 平板显示产业是电子信息领域的 “核心支柱产 专利是反映科学技术发展水平必威体育精装版动态的情报 业”之一。平板显示器 目前向着大尺寸、高分辨的 文献_3J。根据世界知识产权组织的统计，专利文献 方向发展。薄膜晶体管 (TFT)作为平板显示行业 中包含了世界上95％的研发成果。专利作为测量技 的核心部件，其性能的好坏直接影响到平板产业的 术创新的指标，被广泛地应用于技术发展趋势的研 质量。现有的薄膜晶体管迁移率很难满足大尺寸的