卧式PECVD在太阳能行业的应用.pdf

·新设备与新机构· 电子工业专用设备 EPE EquipmentforElectronicProductsManufacturing 卧式PECVD在太阳能行业的应用 郑建宇,盛金龙,张上华 (北京七星华创电子股份有限公司,北京 100016) 摘 要:介绍了一种用于太阳能行业淀积氮化硅薄膜的等离子增强化学气相淀积设备,叙述了该 设备的结构组成,并重点阐述了工艺原理及关键技术的改进。 关键词: ;氮化硅薄膜;工艺;改进 PECVD 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: TN305 A 1004-4507（2007）09-0016-04 TheApplicationofHorizontalHeatedPecvdSysteminSolarCells ZHENGJian-yu,SHENGJin-long,ZHANGShang-hua (BeijingSevenStarHuachuangElectronicCo.Ltd,Beijing100016) Abstract:AkindofPECVDequipmentforSiN filmgrowthinsolarcellsmanufactureisintroduced. 3 4 Describestheconfigurationoftheequipment,theimprovementoftherecipe. Keywords: PECVD；SiNfilm；recipe；improvement. 3 4 1 引 言 由于PECVD（等离子增强化学汽相淀积）设备 淀积的氮化硅薄膜,同时起到减反射膜和钝化的作 随着煤炭、石油等传统能源日趋枯竭，世界各 用，可以极大地提高电池片转换效率，降低生产成 国正在积极发展可再生能源。中国2006年 1月 1 本。是太阳能生产线中最为重要的设备之一。本文 日起正式实施了《中华人民共和国可再生能源法》。 介绍的北京七星华创电子股份有限公司专用于太 在可再生能源中，太阳能取之不尽，清洁安全，已成 阳能行业的PECVD设备，其性能优良、自动化程 为最具可持续发展的可再生能源技术之一。随着太 度较高、生产的薄膜均匀性片内优于±3%、片间、 阳能光伏发电技术的日趋成熟，目前中国已经是国 批间均优于±5%，达到了同类国际设备的先进水平。 际光伏发电应用产品主要生产基地。2006年我国 太阳能电池生产能力已超过800MW。专家预测中 2 主要技术指标与结构 国光伏电池的年生产目标到2010年达到2000MW 以上。这样必然带动太阳能电池制造设备需求的急 2.1主要技术指标 剧增加。 （1）设备工作指标：工作温度范围:150～600℃ 收稿日期: 2007-07-23 作者简介: 郑建宇,男,本科，工程师,自2001年一直从事微电子及太阳能设备的设计研发工作，具有丰富的生产线工艺调试经验。 16（总第152期）Sep.2007 EPE 电子工业专用设备 ·新设备与新机构· EquipmentforElectronicProductsManufacturing 恒温区精度及长度:±2℃/900mm （1)炉体机箱。炉体机箱的顶部是风冷热交换 温度梯度:0～30℃/900mm可调 器,中部是处理硅片的2个加热炉体,下部是2套功 系统极限真空度:优