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Ｖeeco社製 16cm/14cm RF ION Source Grid Assembly Maintenance Manual 制定日　０9／1／16 株式会社　昭和真空 保养前须知 　RF 离子源使用后需要保养时、请不要马上进行大气导入,那样的话会导致各部品的氧化,劣化及螺丝部的烧损。必须使各部品充分冷却后,再进行各部品的保养作业. 　RF 离子源钼片组件的组装、及拆卸作业进行前,必须将电源开关拨至OFF后才可以进行。 目录 RF 离子源钼片组件的保养 - 2 - Grid Mount Assembly安装/拆卸 - 3 - Discharge Chamber安装/拆卸 - 4 - Grid Assembly安装/拆卸 - 4 - Grid Assembly分解?組立 - 5 - Grid Assembly位置固定 - 5 - Grid Mount Assembly拆卸 6。 Grid Unitの分解 - 7 - 1.Quartz Discharge Chamber拆卸 - 7 - 　2.Grid Mount Assembly分解 - 7 - 3.Grid Assembly分解 - 7 - 清洗 错误！未定义书签。 各部品的清洗 - 9 - 离子源防着板、 Grid Mount Plate、Retainer Plate - 9 - 碍子 错误！未定义书签。 钼片 错误！未定义书签。 Grid Unit的組立 - 11 - 2.Grid Mount Assembly組立 - 18 - 3.Grid Mount Assembly安装 - 23 - 4.导通绝缘确认 - 24 - RF ION Source Gird Assembly 保养 以下 关于RF 离子源组件的分解?組立?清洁的顺序进行说明。 分解?組立必要的工具 英式用スパナ 英式六角扳手 活扳手 螺丝?螺帽在随后的附带的( )的表内 英寸规格表示、(螺丝的称呼 ，螺距等)按顺序记载。 有螺距记载时、英寸螺丝为内部记载的特殊螺丝。 以下为各阶段的组立图(说明书有记载)。 Grid Mount Assembly安装/拆卸　※说明书从P50开始记载 Discharge Chamber安装/拆卸　※说明书从P67开始记载 Grid Assembly安装/拆卸　※说明书从P64开始记载 Grid Assembly分解?組立　说明书从P65开始记载 Grid Assembly位置固定　※说明书从P66开始记载 钼片组件的拆卸 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　将在上面固定的6个六角螺栓(10-32×.250)卸下、离子源防着板卸下。 拆卸下的离子源防着板、用喷砂进行清洁。 将固定的Stand Off(销子)卸下、取出钼片组件。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　 Grid Unit的分解 　1.Quartz Discharge Chamber拆卸 将Grid Mount Assembly翻转过来, 拆卸4个六角螺栓(10-32×.250)、将Clamp Ring拆卸下来、取出Quartz Discharge Chamber。 注意！离子枪钼片单元反装时、将钼片单元放置组立安装台上。否则会导致钼片破损. 　2.Grid Mount Assembly的分解将固定Retainer Plate与Grid Mount Plate4点的六角螺栓(10-32×1.375、10-32螺帽、碍子等)拆卸下来。 接着将固定Accelerator Contact的六角螺栓(10-32×.750、10-32螺帽、碍子等)拆卸下来 Grid Assembly与Retainer Plate如下左图照片。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 将Screen Grid Strap的六角螺栓(6-32×.125)拆卸下,从Retainer Plate将Grid Assembly拆卸下来。 　 3 Grid Assembly的分解 将8个的六角螺丝(6-32×875、6-32螺帽、垫片、碍子)卸下、将各Grid(钼片)分解下来。 　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　Decelerator Grid 　　　　　　　　　　　　　　　 将螺丝(0-80×.125、0-80ナット)卸下、将套子与Decelerator Strap(左照片参考) 拆卸下来 Accelerator Grid