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第 卷 第 期 低 温 物 理 学 报 !
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喷雾沉积热分解法在6A3$ 和织构
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涂层超导膜
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国家教育部功能材料重点实验室北京工业大学材料学院 北京 *)))!!
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本文研究了用喷雾沉积热分解法在# $ 单晶% ’ 带%# $ 三
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种不同的基底上制备 涂层超导薄膜 通过对溶液成份!载气流量!沉积温度!退
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火时间等条件的系统研究!我们发现上述参数与薄膜的成份!表面形貌!织构以及超导性能
有密切的关系 在 单晶基底上所获的 薄膜具有很强的平面双轴织构!起始转变温
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度达到了 ! 值超过了 O ( !# ! $改进试验装置后!以织构 为基底!制备
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度在热分解区间内对薄膜的形成起到了重要的作用 随后我们又在喷雾加热系统中附加一
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