晶圆加工生产线蚁群优化排程方法.pdf

( ) ISSN 清华大学学报 自然科学版 2007 年 第47 卷 第 2 期 3950 S CN 112223N 　 ( ) , 2007, . 47, . 2 J T singhu a U n iv Sci T ech V o l N o S 　 晶圆加工生产线蚁群优化排程方法 李　莉, 　乔　非, 　田晓雨 ( 同济大学 电子与信息工程学院, 上海 200092) 摘　要: 从实际应用的角度, 分析了晶圆加工生产线排程特点, 建立 了晶圆加工生产线排程数学模型 (L SM ) , 给出了以瓶颈设备为核心、蚁群优化算法为主要工具的晶圆加工生产线排程方法( ) 。基于实际 W FL L SA W FL 生产线模型仿真验证的结果表明, 能够在允许的时间内获得晶圆加工生产线排程方案。 L SA W FL 关键词: 晶圆加工生产线; 排程; 蚁群优化; 瓶颈 中图分类号: TN 305　　　文献标识码: A 文章编号: (2007) S2189005 An t colony op t im iza t ion -ba sed sequen c in g m ethod f or waf er fabs L I L i, Q IAO F e i, T IAN X ia oyu (School of E lectron ics Inf orma t ion Eng in eer in g, Ton gj i Un iversity, Shan gha i 200092, Ch ina) Abstract: A sequen cing m ode l fo r w afer fab s w a s de sign ed b a sed on th eir sequ encing ch aracter ist ics. A fou rlayer an t co lony op t im izat ion b a sed sequ encing m etho d w a s th en deve lop ed. T h e m etho d is fa st an d p rov ide s g lob a l op t im izat ion. Sim u lat ion s b a sed on an actu a l w afer fab show th at th e m ethod cou ld ca lcu late th e sequen cing p lan w ith in a th e rea son ab le t im e. Key words: w afer fab r icat i